마이크로 머시닝 기술을 이용한 새로운 구조의 100 ㎓ DMR bandpass Filter의 설계 및 제작 = Novel 100 ㎓ Dual-Mode Stepped Impedance Resonator BPF Using micromachining Technology
저자
백태종(Tae Jong Baek) ; 이상진(Sang Jin Lee) ; 한민(Min Han) ; 임병옥(Byeong Ok Lim) ; 윤진섭(Jin Seob Yoon) ; 이진구(Jin Koo Rhee)
발행기관
학술지명
電子工學會論文誌-SD (Semiconductor and devices)(Journal of the Institute of Electronics Engineers of Korea)
권호사항
발행연도
2007
작성언어
Korean
주제어
등재정보
구)KCI등재(통합)
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
7-11(5쪽)
제공처
소장기관
본 논문에서는 MMIC 응용을 위한 dielectric-supported air-gapped microstrip line (DAML) 구조를 이용하여 dual-mode stepped impedance 링 공진기를 설계 제작하였다. 링 공진기는 표면 마이크로머시닝 기술을 이용하여 만들어졌다. DAML ring resonator는 다층구조로써 공기중에 위치한 신호선과 MMIC 응용에 적합하도록 CPW가 한 평면에 구성되 있으며 DAML-CPW 트랜지션이 자유로운게 특징이다. DAML 링 공진기는 10 ㎛ 높이로 GaAs 기판 으로부터 띄어져 있다. 대역통과 여파기는 dual-mode 공진을 하며 stepped impedance 이용한 구조이다. 측정결과로 중심주파수 97 ㎓에서 감쇠특성은 15㏈, 삽입손실은 2.65 ㏈를 보였으며, 상대 대역폭은 12 %를 나타냈다. 이같은 구조의 대역통과 여파기는 MMIC 와의 직접화에 유리하다.
더보기In this paper, we proposed the dual-mode stepped impedance ring resonator bandpass filter for MMIC (Microwave Monolithic Integrated Circuit) applications using the dielectric-supported air-gapped microstrip line (DAML). The ring resonator fabricated by surface micromachining technology. This filter consists of a DAML resonator layer and a CPW feed line. The DAML ring resonator is elevated with 10 ㎛ height from GaAs substrate surface. This bandpass filter is 1?λg type stepped impedance ring resonator including dual-mode resonance. From the measurements, we obtained attenuation of over 15 ㏈ and insertion loss of 2.65 ㏈ at the center frequency of 97 ㎓. Relative bandwidth is about 12 % at 97 ㎓. Furthermore, the proposed bandpass filter is useful to integrate with conventional MMICs.
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