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전자빔여기 XeF(C→A) 엑시머 레이저의 출력특성에 대한 시뮬레이션 해석
저자
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
1995
작성언어
Korean
KDC
425
등재정보
KCI등재,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
201-213(13쪽)
제공처
소장기관
전자빔여기 XeF(C→A) 엑시머 레이저의 상준위 B-와 C-상태에 대하여 충돌혼합 운동과정을 포함하는 모델을 컴퓨터 시뮬레이션하여 이의 출력특성을 해석하였다. XeF*(B)의 수밀도에 관련되는 XeF*(C)의 형성에 대하여 레이저 에너지를 실험치와 비교하였다. 이 결과는 70 ns [FWHM]의 전자빔 (800㎸, 21㎄)을 사용한 대기압 매질에서 매우 좋은 일치(28.5mJ±5%)를 보였고, Xe/F₂/Ar=5.26/0.46/94.28%의 최적화된 가스혼합비를 확인하였다. 또한 시뮬레이션으로 XeF*(C)의 형성경로, XeF*(C)의 완화경로, 청록색 파장대역의 흡수경로에 대한 F₂ 할로겐 도우너 및 Xe 압력의 함수관계를 조사하였다.
더보기By the use of computer simulation including collisional mixing kinetic processes of the B- and C-state in the upper laser level the output characteristics of electron-beam pumped XeF(C→A) excimer laser are analyzed. We compared the results between experiments and simulations for the XeF*(C) formation that correlated the number of densities of the XeF*(B). We obtained good agreement(28.5 mJ ± 5%) with comparisons between experiment and simulation and confirmed the optimal gas mixing ratio of Xe/F₂/Ar=5.26/0.46/94.28% at atmospheric pressure laser medium under the condition of 70 ns [FWHM] electron-beam (800 ㎸, 21 ㎄). Also through the simulation we have investigated that the XeF*(C) formation channel, the XeF*(C) relaxation channel, and the absorption channel of blue-green wavelength region as a function of F₂ halogen donor and Xe partial pressure.
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