RF 스퍼터의 POWER 변화에 따른 플라스틱 기판 위에 증착된 ZnO 박막의 특성 연구 = Characteristics of ZnO Films Deposited on Plastic Substrates by Using Various RF Sputtering Powers

국문 초록 (Abstract)

상온에서 RF스퍼터를 이용하여 PC (polycarbonate)와 PES
(polyethersulfone) 플라스틱기판 위에 ZnO 박막을 증착하였다. 100
W에서 200 W까지의 스퍼터 파워변화에 따른 ZnO 박막의 구조적, 광학적
특성을 조사하였다. XRD측정에서는 기판의 종류와 관계없이, 모든 ZnO
박막에서 육방정계 구조의 (002) 면이 우선배향 증착되었고 구조적으로는
스퍼터 파워 175 W에서 증착된 ZnO 박막이 가장 우수한 특성을
나타내었다. 광학적으로는 스퍼터의 파워가 증가할수록 박막의
두께증가로 인한 광밴드갭 에너지의 감소가 나타났으며, 100 W에서
증착된 ZnO 박막이 가시광 영역에서 85% 이상의 광투과율을 보이며
가장 안정된 특성을 보였다. 기판에 따른 ZnO 박막의 특성은 PES기판이
PC기판보다 구조적, 광학적으로 우수하였다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

Zinc oxide (ZnO) films were deposited on polycarbonate (PC) and
polyethersulfone (PES) substrates by RF sputtering at room
temperature. The effects of sputtering power in the range from 100 W
to 200 W on the structural and the optical properties of the ZnO
films on the plastic substrates were investigated. Regardless of the
substrate type, the X-ray diffraction (XRD) measurements revealed
that all of the ZnO films on plastic substrates had a (002)
preferred orientation associated with the hexagonal phase. While the
best ZnO film with respect to structural properties was obtained for
a sputtering power of 175 W, the ZnO films deposited around 100 W
showed stable optical transmittances over 85% in the visible range.
The ZnO films deposited on PES substrates were better than those
deposited on PC substrates with respect to both the structural and
optical properties.

참고문헌 (Reference)

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