KCI등재
회전형 원자층 증착기의 회전 속도에 따른 SnSe 분말 상 ZnO 박막 증착 = Rotation Speed Dependence of ZnO Coating Layer on SnSe powders by Rotary Atomic Layer Deposition Reactor
저자
정명준 (서울과학기술대학교) ; 윤예준 (서울과학기술대학교) ; 변종민 (서울과학기술대학교) ; 최병준 (서울과학기술대학교) ; Jung, Myeong Jun ; Yun, Ye Jun ; Byun, Jongmin ; Choi, Byung Joon 연구자관계분석
발행기관
학술지명
한국분말재료학회지 (KPMI)(Journal of Powder Materials (J. Powder Mater.))
권호사항
발행연도
2021
작성언어
Korean
주제어
등재정보
KCI등재
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
239-245(7쪽)
제공처
소장기관
The SnSe single crystal shows an outstanding figure of merit (ZT) of 2.6 at 973 K; thus, it is considered to be a promising thermoelectric material. However, the mass production of SnSe single crystals is difficult, and their mechanical properties are poor. Alternatively, we can use polycrystalline SnSe powder, which has better mechanical properties. In this study, surface modification by atomic layer deposition (ALD) is chosen to increase the ZT value of SnSe polycrystalline powder. SnSe powder is ground by a ball mill. An ALD coating process using a rotary-type reactor is adopted. ZnO thin films are grown by 100 ALD cycles using diethylzinc and H<sub>2</sub>O as precursors at 100℃. ALD is performed at rotation speeds of 30, 40, 50, and 60 rpm to examine the effects of rotation speed on the thin film characteristics. The physical and chemical properties of ALD-coated SnSe powders are characterized by scanning and tunneling electron microscopy combined with energy-dispersive spectroscopy. The results reveal that a smooth oxygen-rich ZnO layer is grown on SnSe at a rotation speed of 30 rpm. This result can be applied for the uniform coating of a ZnO layer on various powder materials.
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