KCI우수등재
SCOPUS
표면분석용 인증표준물질의 개발 Ⅱ : 깊이분포도용 다층 박막 표준물질의 개발
저자
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학술지명
권호사항
발행연도
1999
작성언어
Korean
등재정보
KCI우수등재,SCOPUS,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
283-289(7쪽)
제공처
깊이분포도 측정에 일반적으로 이용되는 다층박막 표준물질은 이온빔에 의한 스퍼터링 속도를 측정하여 에칭된 깊이를 검정하거나 깊이분해능 향상을 위한 최적의 분석 조건을 얻기 위하여 주로 이용된다. 한국표준과학연구원 표면분석그룹에서는 다목적 표면분석기가 연결된 이온빔 스퍼터증착 장비를 이용하여 다양한 형태의 다층 박막을 제작 공급하고 있다. 제작된 다층 박막 표준물질의 화학상태는 실시간 XPS 분석에 의해 인증되었고 그 두께는 투과전자현미경에 의해 인증되었다.
더보기Multilayer thin film reference materials for the sputter depth profiling analysis are used to calibrate the sputter depth scale by measuring the sputtering rate and to optimize the sputtering conditions for the best depth resolution. Surface analysis group of Korea Research Institute of Standards and Science (KRISS) have developed various types of multilayer thin films by using an ion beam sputter deposition and in-situ surface analysis system. The chemical states of the thin films reference materials were certified by in-situ XPS and the thicknesses were certified by transmission electron microscopy (TEM).
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