xEV 전기자동차 SiC 파워반도체용 레이저 가압소결접합 장비 개발
지구환경의 개선, 화석연료의 유한성, 첨단 2차전지 산업의 발전, 전기전자 및 정보통신 산업의 발전에 따라서 전기자동차 산업의 발전은 획기적이며 1회충전후 주행거리 증대를 위한 급격한 경쟁으로 차량용 2차전지의 고용량 고속제어를 위한 실리콘카바이드(SiC) 파워반도체 기술과 시장이 급격히 성장하고 있다. SiC 파워반도체는 고용량 고속제어에 대한 특성이 우수하며 Si 파워반도체보다 고온에서의 동작특성이 우수한 장점을 사용하므로, 고온에서의 접합기술이 특히 필요한데 고생산성을 위하여 접합시간의 단축시 레이저 가압소결접합 기술이 필수적이다. 본 논문에서는 이를 위하여 레이저 가압소결접합 장비의 개발과 관련 핵심기술로서 플랫탑 레이저빔의 형성을 위한 가변옵틱 모듈 기술, 가압접합모듈 기술 등을 소개한다.
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