표면탄성파를 이용한 프라즈마 폴리머박막의 습기감지특성 측정 = Measurment of humidity sensing characteristics of plasma polymer thin film using surface acoustic wave
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학술지명
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발행연도
1992
작성언어
Korean
KDC
602.000
자료형태
학술저널
수록면
183-192(10쪽)
제공처
습도의 측정은 과학과 공학의 여러분야에서 중요하다. 표면탄성파를 이용한 습도 센서는 기존의 저항 및 커패시턴스 측정방식의 습도센서보다 감도가 매우 높다. 표면 탄성과 습도센서는 표면탄성과 지연선 위에 습기를 감지할 수 있는 막을 만들고, 이를 이용한 표면탄성과 발진기를 이용한다. 이 막이 습기를 흡수하면 이 막의 전기적 및 기계적 성질이 변화되며, 이는 표면탄성과 발진기의 주파수를 변화시킨다. 본 논문에서는 YZ LiNbO₃기판 위에 헥사풀루오르프로펜박막을 제조하며 이를 이용한 55MHz 표면탄성과 발진기를 만들어서 이 박막의 습기감지특성을 측정하였다. 그 결과 온도 26℃에서 습도가 25%RH에서 85%RH까지 변화할 때 약 9KHz의 발지주파수 이동이 있었으며 온도가 낮아질수록 이 이동이 감소하였다.
Measurment and control of humidity play an important role in many branches of science and engineering. Two types of humidity sensors have been intensively studied. These are the capacitive type and the resistive type. The humidity sensor using surface acoustic wave (SAW) have higher sensivity and wide dynamic range than the capactive type and the resistive type sensors. The SAW humidity sensors use SAW delay-line oscillator and the delay-line, being coated with a thin hygroscopic film. Adsorption of moisture produces rapid changes in the electrical and mechanical properties of the film. Hence this results a change in the frequency of the SAW osoillator. The frequency of 55MHz oscillator fabricated on a YZ LiNbO₃substrate with hexafluoropropene thin film is found to vary 9KHz as the relative humidity is varied from 25%RH to 85%RH at 26 C.
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