KCI등재
SCOPUS
파장 주사 간섭법을 이용한 투명 평판의 초정밀 표면 형상 측정 = Precision Surface Shape Measurement of Transparent Plate Using Wavelength-Tuning Interferometry
저자
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2023
작성언어
Korean
주제어
등재정보
KCI등재,SCOPUS,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
331-336(6쪽)
제공처
When measuring the surface shape and thickness of a transparent plate using the wavelength-tuning interferometry, many types of phase errors occur owing to laser stability, interferometer instability, and environmental uncertainty. In this study, we developed a 15-sample phase extraction algorithm that effectively compensates these phase errors. Among several methods for developing the phase-extraction algorithm, it was developed using linear equation theory, and the algorithm was visualized in the frequency domain and complex plane using the Fourier transform and characteristic polynomial theory, respectively. In addition, the ability of the algorithm to suppress phase-shift linear errors and nonlinear errors was verified through numerical analysis. Finally, the surface-shape profiling of the transparent plate was measured using a wavelength-tuning Fizeau interferometer and the proposed 15-sample phase extraction algorithm.
더보기파장 주사 간섭법을 사용하여 투명 평판의 표면 형상 및 두께를 측정할 때, 레이저의 안정성, 간섭계의 불안정성 및 환경적인 불확실성으로 인해 많은 종류의 오차가 발생한다. 본 연구에서는 이와 같은 오차를 효과적으로 보정하는 15 샘플 위상 추출 알고리즘을 개발하였다. 위상 추출 알고리즘을 설계하는 여러 방법 중에서 선형 방정식 이론을 이용하여 설계하였으며, 알고리즘을 Fourier 변환과 특성다항식 이론을 사용하여 각각 주파수 공간과 복소 평면에서 시각화하였다. 또한, 알고리즘의 위상 시프트 선형 오차 및 비선형 오차의 억제 능력을 수치 해석으로 검증하였다. 마지막으로 투명 평판의 표면 형상을 파장 주사 Fizeau 간섭계 및 새롭게 개발한 15 샘플 위상 추출 알고리즘을 이용하여 측정하였다.
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