전계효과에서 정전위 형성을 이한 Insulator 제작과 두께 변화에 따른 저항특성 = Fabrication Insulator for Forming the Potentiostatic and Resistance Properties according to the Change of Thickness in Field Effect
저자
한무재(Moo-Jae Han) ; 신요한(Yo-Han Shin) ; 윤량영(Ryang-yung Yoon) ; 최근영(Gun-yung Choi) ; 오경민(Kyung-Min Oh) ; 남상희(Sang-Hee Nam)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2015
작성언어
-KDC
512
자료형태
학술저널
수록면
83-87(5쪽)
제공처
현재 X-ray 검출 시스템에서 Integration 방식의 성능 개선 연구방향은 국한되어지며, 이로 인해 개선치의 한계를 나타내고 있다. 또한 물질 특성의 한계로 인해 더욱 미세한 선량을 검출하기 어려운 실정이다. 이와 달리 전계효과를 나타내 는 검출 기술은 디락-점이라는 높은 저항 peak를 활용함으로써 미세 선량 검출이 가능하다. 이를 활용하기 위한 전계 형 성은 절연물질을 통한 정전위 형성층이 필수적으로 요구되며, 절연물질의 두께에 따라 달라 질 수 있는 절연 특성에 대한 연구가 필요한 실정이다. 이에 본 연구에서는 PIB 증착 방식을 이용한 정전위 형성층 제작과 그에 따른 절연 효과 및 특성에 대한 분석을 통하여 활용 가능성을 검증하였다. 절연물질로 Si based oxide를 활용하여 다양한 절연두께를 제작하였으며, 인가전압에 따라 측정되는 drift current를 저항으로 산출하여 절연 두께에 따른 저항의 특성을 분석하였다. 그 결과, 2 V와 3 V의 인가전압을 걸어주었을 때, 최대치의 저항 값을 나타내었으며, 이러한 최대 점은 절연물질의 두께가 증가할수록 3 V에서 2 V로 최대치를 나타내는 peak가 shift되는 현상이 나타났다. 이러한 결과를 토대로 PIB방식을 이용한 절연 물질층 제작은 전계효과 검출시스템의 차세대 검출기 연구에 대한 활용 가능성을 입증하였다.
더보기For the current X-ray detection system, researches into an integration system for improving performance is limited, indicating a limit to improvement. Furthermore, the limit of material properties makes it difficult to detect finer dose. Alternatively, the detection technology indicating filed effect uses resistance peak referred to as Dirac point, enabling it to detect minute-dose. To form an electric field to utilize this, it is critical to form an electric potential layer through insulation materials and there is the need of conducting studies on the dielectric properties which may vary depending on the thickness of insulation materials. Thus, in this study, the author prepared constant-potential formation layer using PIB deposition and analyzed the applicability of it through analyzing its insulating effect and properties. Constant-potential formation layers of various thicknesses were prepared using Si-based oxide as insulation material and the drift current measured in accordance with the applied voltage was calculated into resistance so as to analyze the properties of resistance in accordance with insulation thicknesses. As a result, the applied voltage of 2V and 3V showed resistance peak and this resistance peak shifted from 3V to 2V with an increase in the thickness of insulation material. Through the preparation of insulation material layer using PIB method based on the above results, the author has proved the applicability of the findings of this study to the researches into next-generation field effect detection system.
더보기서지정보 내보내기(Export)
닫기소장기관 정보
닫기권호소장정보
닫기오류접수
닫기오류 접수 확인
닫기음성서비스 신청
닫기음성서비스 신청 확인
닫기이용약관
닫기학술연구정보서비스 이용약관 (2017년 1월 1일 ~ 현재 적용)
학술연구정보서비스(이하 RISS)는 정보주체의 자유와 권리 보호를 위해 「개인정보 보호법」 및 관계 법령이 정한 바를 준수하여, 적법하게 개인정보를 처리하고 안전하게 관리하고 있습니다. 이에 「개인정보 보호법」 제30조에 따라 정보주체에게 개인정보 처리에 관한 절차 및 기준을 안내하고, 이와 관련한 고충을 신속하고 원활하게 처리할 수 있도록 하기 위하여 다음과 같이 개인정보 처리방침을 수립·공개합니다.
주요 개인정보 처리 표시(라벨링)
목 차
3년
또는 회원탈퇴시까지5년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한3년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한2년
이상(개인정보보호위원회 : 개인정보의 안전성 확보조치 기준)개인정보파일의 명칭 | 운영근거 / 처리목적 | 개인정보파일에 기록되는 개인정보의 항목 | 보유기간 | |
---|---|---|---|---|
학술연구정보서비스 이용자 가입정보 파일 | 한국교육학술정보원법 | 필수 | ID, 비밀번호, 성명, 생년월일, 신분(직업구분), 이메일, 소속분야, 웹진메일 수신동의 여부 | 3년 또는 탈퇴시 |
선택 | 소속기관명, 소속도서관명, 학과/부서명, 학번/직원번호, 휴대전화, 주소 |
구분 | 담당자 | 연락처 |
---|---|---|
KERIS 개인정보 보호책임자 | 정보보호본부 김태우 | - 이메일 : lsy@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0439 - 팩스번호 : 053-714-0195 |
KERIS 개인정보 보호담당자 | 개인정보보호부 이상엽 | |
RISS 개인정보 보호책임자 | 대학학술본부 장금연 | - 이메일 : giltizen@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0149 - 팩스번호 : 053-714-0194 |
RISS 개인정보 보호담당자 | 학술진흥부 길원진 |
자동로그아웃 안내
닫기인증오류 안내
닫기귀하께서는 휴면계정 전환 후 1년동안 회원정보 수집 및 이용에 대한
재동의를 하지 않으신 관계로 개인정보가 삭제되었습니다.
(참조 : RISS 이용약관 및 개인정보처리방침)
신규회원으로 가입하여 이용 부탁 드리며, 추가 문의는 고객센터로 연락 바랍니다.
- 기존 아이디 재사용 불가
휴면계정 안내
RISS는 [표준개인정보 보호지침]에 따라 2년을 주기로 개인정보 수집·이용에 관하여 (재)동의를 받고 있으며, (재)동의를 하지 않을 경우, 휴면계정으로 전환됩니다.
(※ 휴면계정은 원문이용 및 복사/대출 서비스를 이용할 수 없습니다.)
휴면계정으로 전환된 후 1년간 회원정보 수집·이용에 대한 재동의를 하지 않을 경우, RISS에서 자동탈퇴 및 개인정보가 삭제처리 됩니다.
고객센터 1599-3122
ARS번호+1번(회원가입 및 정보수정)