전자선 조사방법을 이용한 PET박막의 전하분포 측정 = Detection of Charge Distributions in PET by Electron Beam Irradiation Method
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발행연도
1983
작성언어
Korean
KDC
420.000
자료형태
학술저널
수록면
1-7(7쪽)
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전자선의 입사에너지를 단계적으로 증가시키면서 PET박막에 주입된 전자에 의한 전하 분포를 측정하였다. 가상전극의 위치는 실제 전자 위치보다 1.3~2배나 더 깊게 위치하여 있었으며, recall시간은 2~5분 정도가 적당함을 알았다. 5 keV의 전자선을 조사시켰을 때 음전하가 0.2~1μm영역에 분포되어 있었고 0.2μm이하에서는 2차 이온 발생에 의해 양전하가 분포됨을 알았다.
The spatial charge distribution in 25㎛ PET film was investigated increasing stepwisely the incident energy of electron using small accelerator. The location of virtual electrode was found to be deeper by a factor of 1.3∼2 than real electron penetration range, which means that the tail of conduction profile is extended more deeper than real charge location. The adequate recall time was found to be 2∼5min. The negative charge in 5 keV electron beam irradiated PET film were distributed in the region from 0.2㎛ to 1㎛, and unexpected positive charge were distributed in the region less than 0.2㎛ due to secondary ion production.
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