KCI우수등재
SCOPUS
자기저항 헤드용 Ni - Fe - Co / Cu / Ni - Fe-Co / Fe - Mn 다층박막의 자기적 성질에 관한 연구
저자
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
1995
작성언어
Korean
등재정보
KCI우수등재,SCOPUS,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
67-76(10쪽)
제공처
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자기저항헤드용 Ni-Fe-Co/Cu/Ni-Fe-Co/Fe-Mn 다층박막에서 자기적 성질과 전기적 성질에 관하여 조사하였다. 저 포화자계에서 고 자기저항을 나타내는 스핀 밸브형 다층박막을 제작하기 위하여 Boron이 도핑된 p-type Si(100) 기판위에 Ni-Fe-Co 단층박막과 Si/Ni-Fe-Co/Cu/Ni-FeCo, Si/Ni-Fe-Co/Fe-Mn 구조의 다층막을 제작하여 자기적 특성을 조사하였다. Ni-Fe-Co단층박막의 자기적 특성은 고정된 아르곤 분압에서 박막의 두께 등에 의존성이 있는 것으로 나타났으며, Cu비자성층을 통한 두 자성층의 결합상태는 비자성층의 두께에 영향을 받는 것으로 나타났다. 또한 Si/Ni-Fe-Co(70 Å)/Fe-Mn구조에서 Ni-Fe-Co와 Fe-Mn계면에서의 두 자성층의 이방성 차이에 의해서 발생되어지는 교환자기이방성이 존재하였으며, 교환자기이방성자계값은 Fe-Mn 두께가 150 Å일 때 가장 큰 값을 나타내었다. Ni-Fe-Co texture와 교환자기이방성자계값의 의존성을 알아보기 위하여 Ti, Cu를 바닥층으로 사용하였다. Ti을 바닥층으로 사용하였을 경우, 교환자기이방성자계값은 23.5 Oe정도의 가장 큰 값을 나타내었다. XRD 분석결과, Ti 바닥층이 Cu 바닥층이나, 바닥층이 없는 경우와 비교하여 성막된 Ni-Fe-Co 자성층의 강한 fcc(111) texture를 형성하는 것으로 나타났다. 각각의 단층박막과 다층박막에서의 자기적 특성을 측정한 후, Si/Ti(50 Å)/Ni-Fe-Co(70 Å)/Cu(23 Å)/Ni-Fe-Co(70 Å)/Fe-Mn(150 Å)/Cu(50 Å)의 스핀밸브구조를 갖는 다층박막을 제작하였으며, 11 Oe의 낮은 포화자계값에서 4.1%의 고 자기저항값을 얻을 수 있었다.
더보기The magnetic and electrical properties in Ni-Fe-Co/Cu/Ni-Fe-Co/Fe-Mn multilayered thin films for magnetoresistive head have been studied. To obtain a spin valve type multilayered thin films with high magnetoresistance and low saturation field, we investigated the magnetic properties of Ni-Fe-Co soft magnetic single layered thin films and Si/Ni-Fe-Co/Cu/Ni-Fe-Co and Si/Ni-Fe-Co/Fe-Mn multilayered films. The magnetic properties of Ni-Fe-Co films depended upon the film thickness. The coupling between two ferromagnetic layers through Cu interlayer were affected by the Cu interlayer thickness. The exchange anisotropy existed in Si/Ni-Fe-Co(70 Å)/Fe-Mn multilayered thin films. The exchange anisotropy field showed the largest value at Fe-Mn=150 Å. Ti(hcp) or Cu(fcc) was also tried as a buffer layer in this structure. The exchange anisotropy field had the largest value of around 23.5 Oe in Si/Ti(50 Å)/Ni-Fe-Co(70 Å)/Fe-Mn(150 Å) structure. The result of XRD patterns showed that fcc(111) texture of Ni-Fe-Co magnetic layer were strongly developed in the films having Ti buffer layer. After measured the magnetic properties of soft magnetic single layered thin films and the multilayered thin films, we prepared the Si/Ti(50 Å)/Ni-Fe-Co(70 Å)/Cu(23 Å)/Ni-Fe-Co(70 Å)/Fe-Mn(150 Å)/Cu(50 Å) spin valved structure. The magnetoresistance change ratio showed 4.1% in the saturation field as low as 11 Oe in this structure.
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