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안테나 결합형 볼로미터 방식 테라헤르츠 센서를 이용한이차원 주사 방식의 투과형 테라헤르츠 영상 취득에 관한 연구 = Terahertz Transmission Imaging with Antenna-Coupled Bolometer Sensor
An antenna-coupled bolometer-type terahertz sensor was designed, fabricated, evaluated, and utilized to obtain terahertz transmission images. The sensor consists of a thin film bowtie antenna that resonates accordingly in response to an incident terahertz beam, a heater that converts the applied current in the antenna into heat, and a microbolometer that converts the rise in temperature into a change in resistance. The device is fabricated by a bulk micromachining process on a 4-inch silicon wafer. The fabricated sensor chip has a size of 2 × 2 mm and an active area of 0.1 × 0.1 mm2. The temperature coefficient of resistance (TCR) of the bolometer film (VOx) is 2.0%, which is acceptable for bolometer applications. The output sensor signal is proportional to the power of the incident terahertz beam. Transmission images were obtained with a 2-axis scanning imaging system that contained the sensor. The small active area of the sensor will enable the development of highly sensitive focal plane array sensors in terahertz imaging cameras in the future.
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| 연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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| 2008-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
| 2005-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
| 2004-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
| 2002-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
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