Xe 램프의 방전 특성 및 잔류 기체 분석
저자
발행사항
용인 : 명지대학교, 2006
학위논문사항
학위논문(석사) - - 명지대학교 대학원 : 화학과 2006.12
발행연도
2006
작성언어
한국어
주제어
DDC
540 판사항(21)
발행국(도시)
경기도
형태사항
66 p. : 삽도 ; 26 cm.
일반주기명
참고문헌수록
소장기관
6인치 크기의 평면 Xe 플라즈마 램프를 제작 하였다. 유전체 장벽 방전 을 이용한 이 램프는 기존의 공면 방전 방식의 램프에 비해 낮은 방전 개시 전압과 안정한 플라즈마의 균일성, 낮은 확산 손실에 의한 높은 방전 효율의 장점을 갖는다.
양극 접합법과 양극 산화법을 이용하여 전극과 유전체를 형성하였다. 양극 산화법을 이용하여 형성된 나노 다공성 알루미나는 유전 손실이 낮으며 자외선 발광 효율이 우수할 뿐만 아니라, 높은 플라즈마 내구성으로 인해 다양한 기체 방전이 가능하고 상압 방전 장치로의 응용도 가능하다.
RGA(Residual Gas Analyzer)를 이용하여 램프와 배기장비의 real leak여부의 확인 및 이들의 오염도를 진단하였다. 가장 크게 outgassing되는 기체가 수증기임을 확인하였으며, 수증기 분압에 따라 램프 특성을 측정하였다. 그 결과 소비전력은 outgassing되는 수증기의 분압이 낮을수록 최대 16%까지 감소하였으며 발광 효율은 10,000 cd/m2에서 16%까지 개선되었다. 반면 휘도는 수증기 분압이 1×10-6∼5×10-7torr 일 때 최대 발광세기를 나타내었다.
글로우 방전법과 케미컬 클리닝을 연구에 응용하여 수분을 효과적으로 제거하였다. 특히 2,2-dichloropropane을 이용한 케미컬 클리닝의 경우 기존 가열 배기법보다 최대 70%의 시간이 단축되었다.
Flat xenon discharge lamp was fabricated of 6" size. Compare to conventional coplanar discharge lamp, this lamp, what utilizes the dielectric barrier discharge, has many advantages such as low turn-on voltage, high luminance and high discharge efficiency.
The electrode and dielectrics were fabricated using anodic bonding and anodizing methods, respectively. The nano porous anodic alumina shows low dielectric loss, high discharge efficiency and high durability.
Using RGA (Residual Gas Analyzer), the real leak and the contamination extent of the lamp and the gas exhausting system were examined. It was found that the water vapor is the most abundant component among out-gassed ones from the lamp. Thus, the lamp characteristics were analyzed with various partial pressures of water vapor. Consequently, the emission efficacy is improved by 16% at 10,000 cd/m2 as water vapor partial pressure decreases from 5×10-6torr to 5×10-8torr. However, the maximum luminance was observed in 1×10-6~5×10-7torr of water vapor partial pressure.
The glow discharge cleaning and the chemical methods are examined. Both methods are effective in removal of water vapor. Especially, chemical cleaning, using 2,2-dichloropropane at 110℃, is very effective and the exhausting time can be reduced by 70%, compare to the exhaustion method with heating at 330℃.
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