화학증착법 = Chemical Vapor Deposition (C . V . D)

국문 초록 (Abstract)

화학증착기술의 이용은 급속도로 증가해가고 있으며 이용부분은 금속이외에도 반도체, 요업재, 섬유재, 함성재에까지 확장되고 있는바, 우리나라와 가장 관련이 많은 중석에 對하여 기술하였으며, 중석 이외의 응용에 對해서는 간단한 증착방법만을 소개하였다. 특히 새로 고안된 내화금속 그리고 합금等의 고온에서의 기계적성질을 조사할 수 있는 새로운 장치에 대하여 설명하였다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

Chemical vapor deposition techniques have been applied to refractory metals, ceramics, semiconductors, insulators and conductors. The principles and techniques of chemical vapor deposition reactions for the above materials are reviewed. A new design concept of a high temperature hoop stress measurement apparatus for C.V.D. tungsten and other refractory metal alloys is discussed.