KCI등재
양면 코팅 시스템 갖춘 대형 증착기에 의한 다층 반사방지막의 생산성 및 품질 향상
저자
발행기관
학술지명
한국산학기술학회논문지(Journal of Korea Academia-Industrial cooperation Society)
권호사항
발행연도
2000
작성언어
Korean
주제어
등재정보
KCI등재
자료형태
학술저널
수록면
33-36(4쪽)
제공처
대형 진공증착기내에 대형 피코팅물 고정대를 방사형으로 배치고 대용량의 피코팅물이 균일하게 코팅되도록 공전과 자전을 병행하도록 하여, 1회 진공으로 피코팅물의 양변을 동시에 코팅하므로 증착시간을 절역하고 전력소비를 줄일 수 있으며 대기중 이물질에 의한 오염방치를 할 수 있었다. 내부에 이중 전자빔을 설치하여 자동 다층막 증착이 가능하며, 유효증착면적을 크게할 수 있었다. 이런 장치를 이용하여 증착 시간의 30% 단축, 작업 생산성 50% 향상과 아울러 증착막의 전도막 특성도 향상되었으며 증착막의 균일도도 향상되었다. 증착막의 광학적 특성인 반사벙지 투과율 특성도 향상되었다.
더보기Auto DOME-reversing system had been installed in a vacuum coating chamber which decreased the coating time. the electric energy spending and the contamination by rotating and revilving substance. Auto multi coating with dual electron beam was accomplished and effective coating area was increased. The coating duration was decreased with 30%, the production efficiency were increased with 50%. Also the surface conductivity, the coated film uniformity and anti-reflection capablity were also improved.
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