와전류를 이용한 비접촉식 면저항 측정 = Nondestructive measurement system of the sheet resistance using an eddy current probe
저자
발행사항
서울 : 고려대학교 대학원, 2018
학위논문사항
학위논문(석사)-- 고려대학교 대학원: 제어계측공학과 2018. 8
발행연도
2018
작성언어
한국어
주제어
발행국(도시)
서울
형태사항
51장 : 천연색삽화, 도표 ; 26 cm
일반주기명
지도교수: 정재화
부록: A. 부도체 측정 시편 유한 요소 해석
참고문헌: 장 45-47
UCI식별코드
I804:11009-000000081148
DOI식별코드
소장기관
본 논문은 투과형 와전류 센서를 이용하여 롤투롤 연속공정으로 생산된 알루미늄 섬유전극의 면저항을 실시간으로 측정하는 시스템에 관한 것이다. 일반적으로 와전류를 이용한 비파괴검사는 반사형 프로브를 사용하지만, 진동이 발생하여 리프트 오프 효과를 야기시키는 롤투롤 생산 장비에는 적합하지 않다. 유한요소해석결과 Excitation 코일과 Pick-up 코일이 수직으로 위치한 투과형 프로브가 공정상 발생하는 진동의 영향에 둔감하다는 특성을 파악하였다. 리프트 오프 효과 최소화와 감도 최대화를 목표로 두 코일 간격, 코일 턴 수, 코일과 쉴드 간격을 변수로 정하여 유한요소해석을 진행하였고, 적절한 변수 설정 및 제작하였다. Excitation 코일에 2.9MHz, 10V 교류 신호를 인가하여 알루미늄 섬유 전극에 와전류를 발생시키고, 이에 유도된 전압을 Pick-up 코일을 이용하여 측정하였다. DAQ로 수집한 Excitation 코일 전류와 Pick-up 코일 전압을 이용하여 코일 시스템의 임피던스를 구하고, 해당 신호와 면저항의 상관관계 파악하여 물질의 면저항을 측정하였다. 비접촉식 면저항 측정 시스템의 성능평가 결과, 측정 범위는 0.08~0.77 ohm/sq에서 정확도는 1.5% 이내, 반복성은 1.7 % 이내 임을 확인하였고, 1 m/min 속도의 전도성 섬유 연속 생산 공정 중 10 Hz 샘플링을 확인하였다. 제작된 인라인 면저항 비접촉식 측정 시스템은 연속공정에 적용 가능한 성능을 보였으며, 나아가 본 기술을 태양전지, 터치스크린, 스마트 글라스 등의 박막전극 분야에 적용할 경우 생산의 효율과 신뢰성 향상이 기대된다.
더보기In this paper, we develop an in-line nondestructive sheet resistance measurement system for monitoring uniformity of aluminum textile’s conductivity manufactured in a wide roll-to-roll continuous process. Most nondestructive eddy current measurement systems adopt reflection type probes because of its high sensitivity. However, the roll-to-roll production equipment can cause vibration which generate lift-off effect. In the finite element method (FEM) simulation, the reflection type probes showed the result of about 38 ohm coil’s impedance change at 2 mm lift-off and the reflection type probes was susceptible to the change in the gap between the probe and specimen. To minimize this lift-off effect, the measuring system utilizes the transmission type probes consisting of a excitation coil and a pick-up coil positioned vertically. The excitation coil excited by an AC current induces an eddy current in the specimen and the induced eddy current was measured by the pick-up coil. The electronic system consisting of a current monitor circuit, AC to RMS converting circuit, and amplifying circuits were implemented and the circuit’s bandwidth was 15.91Hz. The inductance of sensing coil is 144.7 mH and the driving frequency is set as 2.9 MHz which was selected considering the coil’s natural frequency. The manufactured system could measure the sheet resistance ranging from 0.08 to 0.77 ohm/sq and the measurement accuracy was formed 1.5% and repeatability was formed 0.012 ohm/sq(1σ), that is 1.7% at the range of 0.08~ 0.77 ohm/sq. This in-line nondestructive sheet resistance measuring technique can be effectively applied to the roll-to-roll continuous process.
더보기서지정보 내보내기(Export)
닫기소장기관 정보
닫기권호소장정보
닫기오류접수
닫기오류 접수 확인
닫기음성서비스 신청
닫기음성서비스 신청 확인
닫기이용약관
닫기학술연구정보서비스 이용약관 (2017년 1월 1일 ~ 현재 적용)
학술연구정보서비스(이하 RISS)는 정보주체의 자유와 권리 보호를 위해 「개인정보 보호법」 및 관계 법령이 정한 바를 준수하여, 적법하게 개인정보를 처리하고 안전하게 관리하고 있습니다. 이에 「개인정보 보호법」 제30조에 따라 정보주체에게 개인정보 처리에 관한 절차 및 기준을 안내하고, 이와 관련한 고충을 신속하고 원활하게 처리할 수 있도록 하기 위하여 다음과 같이 개인정보 처리방침을 수립·공개합니다.
주요 개인정보 처리 표시(라벨링)
목 차
3년
또는 회원탈퇴시까지5년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한3년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한2년
이상(개인정보보호위원회 : 개인정보의 안전성 확보조치 기준)개인정보파일의 명칭 | 운영근거 / 처리목적 | 개인정보파일에 기록되는 개인정보의 항목 | 보유기간 | |
---|---|---|---|---|
학술연구정보서비스 이용자 가입정보 파일 | 한국교육학술정보원법 | 필수 | ID, 비밀번호, 성명, 생년월일, 신분(직업구분), 이메일, 소속분야, 웹진메일 수신동의 여부 | 3년 또는 탈퇴시 |
선택 | 소속기관명, 소속도서관명, 학과/부서명, 학번/직원번호, 휴대전화, 주소 |
구분 | 담당자 | 연락처 |
---|---|---|
KERIS 개인정보 보호책임자 | 정보보호본부 김태우 | - 이메일 : lsy@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0439 - 팩스번호 : 053-714-0195 |
KERIS 개인정보 보호담당자 | 개인정보보호부 이상엽 | |
RISS 개인정보 보호책임자 | 대학학술본부 장금연 | - 이메일 : giltizen@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0149 - 팩스번호 : 053-714-0194 |
RISS 개인정보 보호담당자 | 학술진흥부 길원진 |
자동로그아웃 안내
닫기인증오류 안내
닫기귀하께서는 휴면계정 전환 후 1년동안 회원정보 수집 및 이용에 대한
재동의를 하지 않으신 관계로 개인정보가 삭제되었습니다.
(참조 : RISS 이용약관 및 개인정보처리방침)
신규회원으로 가입하여 이용 부탁 드리며, 추가 문의는 고객센터로 연락 바랍니다.
- 기존 아이디 재사용 불가
휴면계정 안내
RISS는 [표준개인정보 보호지침]에 따라 2년을 주기로 개인정보 수집·이용에 관하여 (재)동의를 받고 있으며, (재)동의를 하지 않을 경우, 휴면계정으로 전환됩니다.
(※ 휴면계정은 원문이용 및 복사/대출 서비스를 이용할 수 없습니다.)
휴면계정으로 전환된 후 1년간 회원정보 수집·이용에 대한 재동의를 하지 않을 경우, RISS에서 자동탈퇴 및 개인정보가 삭제처리 됩니다.
고객센터 1599-3122
ARS번호+1번(회원가입 및 정보수정)