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유기 박막 트랜지스터를 위한 유기/무기 이중 적층 유전막의 특성 연구 = A study on the characteristics of organic/inorganic double stack insulator for organic thin film transistor
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2006
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KCI등재,SCOPUS
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337-342(6쪽)
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The characteristics of an organic/inorganic double-stacked
dielectric layer were investigated for organic thin-film
transistors. The double-staked dielectric layer was composed of a
TiO$_2$-Ga$_2$O$_3$ mixed film deposited by using PEALD
(plasma-enhanced atomic-layer deposition) at room temperature on a
PMMA (poly-methyl methacrylate) organic film. The
TiO$_2$-Ga$_2$O$_3$ film showed a dielectric constant of 150 for an
electric field of only 0.5 MV/cm. On the other hand, the PMMA kept
an electric field of over 20 MV/cm with a dielectric constant of 2.
The double-stacked dielectric layer showed a dielectric constant of
18 and kept an electric field of as much as 3-10 MV/cm, depending on
the thickness of the PMMA.
유기 박막 트랜지스터의 성능 및 신뢰성 향상을 위한 유전체 형성을
위하여 유기/무기 이중 적층 유전막 구조의 특성에 대해 살펴보았다.
PEALD (plasma enhanced Atomic layer deposition) 법으로 상온에서
증착한 TiO$_2$-Ga$_2$O$_3$ 나노 혼합 무기 박막과 PMMA (poly-methyl
methacrylate) 유기 박막을 이중 유전체로 구성하였다.
TiO$_2$-Ga$_2$O$_3$ 무기 박막은 150 정도의 높은 유전상수를 가졌으나
전기적 절연 효과가 0.5 MV/cm정도도 되지 않았다. 그에 비해 PMMA
절연막은 2 정도로 낮은 유전상수를 갖는 반면 20 MV/cm 이상의
절연효과를 보여주었다. 이 두 박막을 함께 유전체로 사용한 결과 PMMA
두께에 따라 3-10 MV/cm의 절연 세기와 18 정도의 유전상수 값을 가졌다.
분석정보
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2023 | 평가예정 | 해외DB학술지평가 신청대상 (해외등재 학술지 평가) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) | KCI등재 |
2016-09-05 | 학술지명변경 | 외국어명 : Sae Mulli(New Physics) -> New Physics: Sae Mulli | KCI등재 |
2015-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2007-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2004-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2003-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2002-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 유지 (등재후보1차) | KCI후보 |
1999-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.18 | 0.18 | 0.17 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.15 | 0.14 | 0.3 | 0.1 |
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