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SCOPUS
포토리지스트 용융법을 이용한 육각형 미세 렌즈 배열 제작 = Fabrication of a Hexagonal Microlens Array by Using the Photoresist Reflow Method
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학술지명
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발행연도
2012
작성언어
Korean
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KCI등재,SCOPUS
자료형태
학술저널
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수록면
275-279(5쪽)
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1
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We fabricated hexagonal microlens by using a PR (photoresist) reflow method to enhance the fill factor. Firstly, the PR was patterned in the shape of a hexagonal pillar by using photolithography. The thickness and the diameter of the PR pattern were 17 ㎛ and 500㎛, respectively. Melting at a temperature of 170 ℃ shapes the PR pattern into a hexagonal microlens array. The fill factor of the fabricated hexagonal lens amounts to more than 90 %.
The PR microlens was used to make a silicone mold. Filling the mold with epoxy replicated a transparent hexagonal microlens array. The measured focal length of the epoxy microlens was 2.0 mm, which was close to the value of 1.9 mm obtained from the calculation.
Variations of thickness and the size of PR patterns could be used to control the focal length of the hexagonal microlens array.
미세 렌즈 배열의 채움 비율을 높이기 위하여 육각형 미세 렌즈를PR(photoresist) 용융법을 이용하여 만들었다. 먼저, 포토리소그라피공정을 이용하여 PR을 육각기둥 모양으로 만들었다. PR 패턴은 두께가 17㎛이고 직경이 500㎛이다. PR 패턴을 170 도에서 용융하면육각형 미세 렌즈 배열이 만들어진다. 제작된 육각형 미세 렌즈의 채움비율은 90% 이상이다. PR 미세 렌즈는 실리콘 몰드를 만들기 위해사용되었고, 몰드를 에폭시로 채워서 투명한 육각형 미세 렌즈 배열을얻었다. 에폭시 미세 렌즈의 초점 거리는 2.0 mm 로서 계산값인 1.9mm와 비슷하였다. PR 패턴의 두께와 크기를 조절하면 미세 렌즈의 초점거리를 변화시킬 수 있다.
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연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2023 | 평가예정 | 해외DB학술지평가 신청대상 (해외등재 학술지 평가) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) | KCI등재 |
2016-09-05 | 학술지명변경 | 외국어명 : Sae Mulli(New Physics) -> New Physics: Sae Mulli | KCI등재 |
2015-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2007-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2004-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2003-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2002-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 유지 (등재후보1차) | KCI후보 |
1999-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
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2016 | 0.18 | 0.18 | 0.17 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.15 | 0.14 | 0.3 | 0.1 |
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