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주사 전자 현미경 영상의 분석을 위한 몬테 칼로 전산시늉 = Monte Carlo Simulation of an Electron Microscope Image and Its Application to Quantitative Image Analysis
Electron microscopes make images by collecting backscattered and secondary electrons coming out from specimens. By analyzing these images, the composition and the shape of the specimens are identified. In this paper, trajectories of incident, backscattered, and secondary electrons are traced by using a Monte Carlo technique. The results are used to obtain the yields of backscattered and secondary electrons and to obtain the electron microscope images of several model specimens of different shapes and compositions. For a specimen containing a heterostructure, the variation in the yield with the depth of the particle helps to identify the position, shape, and composition of the structure from an analysis of the image. The Monte Carlo simulation technique is applied to analyze the scanning electron microscope image of a standard specimen to estimate the dimensions of the specimen.
더보기전자 현미경은 시료 밖으로 튀어 나오는 후방산란 전자와 2차 전자를 써서 영상을 만들고, 이를 분석하여 시료 표면의 모양과 조성을 알아낸다. 이 논문에서는 입사 전자 및 산란된 전자의 궤적을 추적하여 후방산란 수율과 2차 전자 수율을 얻고, 이를 써서 모양과 조성이 다른 여러 모형의 전자 현미경 영상을 만들었다. 시료 속에 성질이 다른 물질이 있을 때, 영상분석을 통해 시료 속의 물질의 깊이·모양·조성을 알아내어 깊이에 따른 수율 변화를 구해, 내부에 조성이 다른 물질이 있는 경우도 영상을 만들 수 있음을 확인하였다. 또한 표준 시료의 실제 전자 현미경 영상과 전산시늉으로 얻은 영상을 비교하여 표준시료의 치수를 추정했다.
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연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2023 | 평가예정 | 해외DB학술지평가 신청대상 (해외등재 학술지 평가) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) | KCI등재 |
2016-09-05 | 학술지명변경 | 외국어명 : Sae Mulli(New Physics) -> New Physics: Sae Mulli | KCI등재 |
2015-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2007-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2004-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2003-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2002-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 유지 (등재후보1차) | KCI후보 |
1999-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.18 | 0.18 | 0.17 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.15 | 0.14 | 0.3 | 0.1 |
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