KCI등재
SCOPUS
혼합-소스 수소화학기상법에 의한 청색발광다이오드 제작 = Development of a Blue Light-Emitting Diode by Using a Mixed-Source Hydride-Vapor-Phase Epitaxy Method
We manufacture a vertical-type blue light-emitting diode (LED) without a substrate by using a mixed-source Hydride-vapor-phase epitaxy (HVPE) method. The chip-growth process is completed by using only four steps; photolithography, epitaxial layer growth, sorting, and metallization. All of the epitaxial layers in a chip are grown consecutively in the growth zone by using both a multi-sliding boat system filled with the mixed-source materials in sequence at the source zone inside and a RF heating coil to control the temperature such that T $>$ 660 $^{\circ}$C at the source zone outside in the HVPE installation. A designed pocket-type shadow mask in the alloy process can be used to deposite the electrodes on both the upper and the bottom sides of the 250 bare chips at one time over 10 minutes at 350 $^{\circ}$C. The main peak in the EL measurement for the developed vertical-type LED appears at 450 nm. The turn-on voltage of the vertical-type LED is about 3.7 V. Measurements of the various characteristics of the light emitted by this vertical-type blue LED without a substrate, but with the GaN active layers, showed the mixed-source HVPE method to be a promising method for febricating solid-state light sources.
더보기혼합-소스 수소화학기상법 (hydride vapor phase epitaxy, HVPE)에 의해 기판이 없는 수직형 청색 발광다이오드를 제작하였다. 칩은 광리소그래피, 에피층 성장, 분류 및 금속화를 포함해서 총4개의 단계로 이루어 진다. 칩내 모든 에피층 들은 수소화학기상법 장치 내 소스 존 외각에 온도를 T $>$ 660 $^{\circ}$C으로 제어하기 위한 RF 가열코일과 소스 존 내부에 순서대로 혼합소스 물질이 채워진 다중-스라이딩 보트 계를 사용하여 성장 존에서 연속적으로 성장 시킨다. 전극 증착 과정에서 고안된 포켓형 세도우 마스크를 사용하여 350 $^{\circ}$C에서 10분 동안 동시에 250개의 원시 칩의 위 면과 아래 면에 전극을 정착할 수 있다. 제작된 수직형 발광다이오드에 대한 전자발광 (electro luminescence, EL) 측정 결과 중심파장이 450 nm의 파장을 보였다. 또한 turn-on 전압은 3.7 V로 측정되었다. GaN 활성 층을 가진 기판 없는 수직형 발광 다이오드에 대한 빛 방출의 근거한 여러 특성의 측정으로부터 혼합-소스 수소화학기상법 방법이 고체상태 광원의 제작 방법 중의 하나로 여겨진다.
더보기분석정보
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
---|---|---|---|
2023 | 평가예정 | 해외DB학술지평가 신청대상 (해외등재 학술지 평가) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) | KCI등재 |
2016-09-05 | 학술지명변경 | 외국어명 : Sae Mulli(New Physics) -> New Physics: Sae Mulli | KCI등재 |
2015-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2007-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2004-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2003-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2002-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 유지 (등재후보1차) | KCI후보 |
1999-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.18 | 0.18 | 0.17 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.15 | 0.14 | 0.3 | 0.1 |
서지정보 내보내기(Export)
닫기소장기관 정보
닫기권호소장정보
닫기오류접수
닫기오류 접수 확인
닫기음성서비스 신청
닫기음성서비스 신청 확인
닫기이용약관
닫기학술연구정보서비스 이용약관 (2017년 1월 1일 ~ 현재 적용)
학술연구정보서비스(이하 RISS)는 정보주체의 자유와 권리 보호를 위해 「개인정보 보호법」 및 관계 법령이 정한 바를 준수하여, 적법하게 개인정보를 처리하고 안전하게 관리하고 있습니다. 이에 「개인정보 보호법」 제30조에 따라 정보주체에게 개인정보 처리에 관한 절차 및 기준을 안내하고, 이와 관련한 고충을 신속하고 원활하게 처리할 수 있도록 하기 위하여 다음과 같이 개인정보 처리방침을 수립·공개합니다.
주요 개인정보 처리 표시(라벨링)
목 차
3년
또는 회원탈퇴시까지5년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한3년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한2년
이상(개인정보보호위원회 : 개인정보의 안전성 확보조치 기준)개인정보파일의 명칭 | 운영근거 / 처리목적 | 개인정보파일에 기록되는 개인정보의 항목 | 보유기간 | |
---|---|---|---|---|
학술연구정보서비스 이용자 가입정보 파일 | 한국교육학술정보원법 | 필수 | ID, 비밀번호, 성명, 생년월일, 신분(직업구분), 이메일, 소속분야, 웹진메일 수신동의 여부 | 3년 또는 탈퇴시 |
선택 | 소속기관명, 소속도서관명, 학과/부서명, 학번/직원번호, 휴대전화, 주소 |
구분 | 담당자 | 연락처 |
---|---|---|
KERIS 개인정보 보호책임자 | 정보보호본부 김태우 | - 이메일 : lsy@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0439 - 팩스번호 : 053-714-0195 |
KERIS 개인정보 보호담당자 | 개인정보보호부 이상엽 | |
RISS 개인정보 보호책임자 | 대학학술본부 장금연 | - 이메일 : giltizen@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0149 - 팩스번호 : 053-714-0194 |
RISS 개인정보 보호담당자 | 학술진흥부 길원진 |
자동로그아웃 안내
닫기인증오류 안내
닫기귀하께서는 휴면계정 전환 후 1년동안 회원정보 수집 및 이용에 대한
재동의를 하지 않으신 관계로 개인정보가 삭제되었습니다.
(참조 : RISS 이용약관 및 개인정보처리방침)
신규회원으로 가입하여 이용 부탁 드리며, 추가 문의는 고객센터로 연락 바랍니다.
- 기존 아이디 재사용 불가
휴면계정 안내
RISS는 [표준개인정보 보호지침]에 따라 2년을 주기로 개인정보 수집·이용에 관하여 (재)동의를 받고 있으며, (재)동의를 하지 않을 경우, 휴면계정으로 전환됩니다.
(※ 휴면계정은 원문이용 및 복사/대출 서비스를 이용할 수 없습니다.)
휴면계정으로 전환된 후 1년간 회원정보 수집·이용에 대한 재동의를 하지 않을 경우, RISS에서 자동탈퇴 및 개인정보가 삭제처리 됩니다.
고객센터 1599-3122
ARS번호+1번(회원가입 및 정보수정)