KCI우수등재
SCOPUS
Chemical Solution Deposition 방법을 이용한 BiFeO₃/Pb(Zr<SUB>0.52</SUB>Ti<SUB>0.48</SUB>)O₃ 다층박막의 전기적 특성에 대한 연구
저자
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학술지명
권호사항
발행연도
2010
작성언어
Korean
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등재정보
KCI우수등재,SCOPUS,ESCI
자료형태
학술저널
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52-57(6쪽)
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BiFeO₃(BFO)/Pb(Zr0.52Ti0.48)O₃(PZT) bilayer와 multilayer의 다층구조를 만들어 전기적 특성을 측정하여 같은 두께의 BFO 단층박막과 비교해 보았다. BFO와 PZT 용액을 이용하였으며 chemical solution deposition 방법으로 Pt/Ti/SiO₂/Si(100) 기판위에 각 박막을 증착하였다. X-ray diffraction 분석을 통해 모든 박막이 다배향(multi-orientation) 페로브스카이트(perovskite) 구조를 가졌음을 확인하였다. BFO/PZT Bilayer와 multilayer 박막들은 BFO 단층박막의 비해 누설전류 값이 500 ㎸/㎝에서 약 4, 5차수 정도 감소했으며, 이로 인해 BFO/PZT 다층박막의 강유전체 특성이 크게 향상되었다. BFO/PZT multilayer 다층구조 박막의 경우 안정된 이력곡선(hysteresis loop)을 나타냈으며, 잔류 분극(remanent polarization)의 값은 44.3μC/㎠이었으며, 항전계(2Ec) 값은 681.4 ㎸/㎝였다.
더보기BiFeO₃/Pb(Zr0.52Ti0.48)O₃(BFO/PZT) multilayer thin films have been prepared on a Pt/Ti/SiO₂/Si(100) substrate by chemical solution deposition. BFO single layer, BFO/PZT bilayer and multilayer thin films were studied for comparison. X-ray diffraction analysis showed that the crystal structure of all films was multi-orientated perovskite phase without amorphous and impurity phase. The leakage current density at 500 ㎸/㎝ was reduced by approximately four and five orders of magnitude by bilayer and multilayer structure films, compared with BFO single layer film. The low leakage current density leads to saturated P-E hysteresis loops of bilayer and multilayer films. In BFO/PZT multlayer film, saturated remanent polarization of 44.3μC/㎠ was obtained at room temperature at 1 ㎑ with the coercive field(2Ec) of 681.4 ㎸/㎝.
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