KCI등재
SCOPUS
ZnO 기반 박막트랜지스터의 기계적 안정성 확보에 관한 연구
저자
이덕규(Deok-Kyu Lee) ; 박경애(Kyungyea Park) ; 안종현(Jong-Hyun Ahn) ; 이내응(Nae-Eung Lee) ; 김윤제(Youn-Jea Kim)
발행기관
학술지명
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발행연도
2011
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Korean
주제어
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KCI등재,SCOPUS,ESCI
자료형태
학술저널
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17-22(6쪽)
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실험을 통해 구현한 ZnO 기반의 투명 박막트랜지스터의 기계적 특성을 분석하고 안정성에 대한 확보방안을 제시하기 위해 FEM (Finite Element Method)을 이용하여 소자를 구성하는 브릿지 와 패드 부분에 대한 구조해석을 실시하였다. 소자의 유연성 확보를 위해 설계된 브릿지 부분의 웨이브 패턴을 구현한 결과 실험 값 대비 최대 진폭의 크기가 오차 0.5%로 실험값과 유사한 신뢰성 있는 결과 값을 얻어낼 수 있었다. 이러한 결과를 바탕으로 브릿지와 패드 사이에 나타나는 압축 응력을 확인하였으며, 압축 응력 값을 패드에 적용하여 그 변형 정도를 분석하였다. 기계적으로 안정성을 갖는 소자를 설계하기 위해 SiO2 절연층위의 ITO 전극과 ZnO 활성 층의 위치 및 크기를 예측 하였으며, SU-8 코팅 두께를 조절함으로써 중성 역학 층 (Neutral Mechanical Plane)의 위치와 구조적 타당성에 대하여 분석하였다.
더보기ZnO-based thin-film transistors (TFTs) have been fabricated and the mechanical characteristics of electric circuits, such as stress, strain, and deformation are analyzed by the finite element method (FEM). In this study, a mechanical-stability design guide for such systems is proposed; this design takes into account the stress and deformation of the bridge to estimate the stress distribution in an SiO2 film with 0 to 5% stretched on 0.5-Hm-thick. The predicted buckle amplitude of SiO2 bridges agrees well with experimental results within 0.5% error. The stress and strain at the contact point between bridges and a pad were measured in a previous structural analysis. These structural analysis suggest that the numerical measurement of deformation, SU-8 coating thickness for Neutral Mechanical Plane (NMP) and ITO electrode size on a dielectric layer was useful in enhancing the structural and electrical stabilities.
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연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2023 | 평가예정 | 해외DB학술지평가 신청대상 (해외등재 학술지 평가) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) | KCI등재 |
2010-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2008-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2006-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2004-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2001-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
1998-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.23 | 0.23 | 0.25 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.22 | 0.19 | 0.552 | 0.03 |
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