SCOPUS
KCI등재
프탈로시아닌 유기물 반도체를 이용한 NO2 가스 센서 = Phthalocyanine Organic Semiconductor for NO2 Gas Sensor
저자
이덕동 (경북대학교 공과대학 전자공학과) ; 김재창 (경북대학교 공과대학 화학공학과) ; 최동한 (청주대학교 공과대학 반도체공학과) ; 정석봉 (경북대학교 공과대학 화학공학과) ; 전희권 (경북대학교 공과대학 화학공학과) ; 지종기 (경북대학교 자연대학 화학과)
발행기관
학술지명
Korean Chemical Engineering Research(HWAHAK KONGHAK) (Korean Chemical Engineering Research)
권호사항
발행연도
1999
작성언어
Korean
KDC
570
등재정보
SCOPUS,KCI등재,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
639-645(7쪽)
제공처
소장기관
여러 금속 프탈로시아닌을 이용한 NO₂가스 센서가 진공도 2×10^5torr, 증착 온도 390℃에서 진공 증착법에 의해서 제조되었다. 여러 금속 프탈로시아닌 중에서 PbPc 박막이 5 ppm NO₂농도에서 80% 이상의 가장 좋은 감도를 나타냈으며, PbPc 박막 구조는 tri, mono-clinic이 혼합되어 있는 것으로 나타났다. 응답 및 회복 시간을 포함한 최적의 동작 조건과 NO₂가스의 연속적인 흡, 탈착 특성이 파악되었고, 수분을 포함한 여러 가지 산화, 환원성 가스에 대한 선택성을 비교 검토하였다.
NO₂gas sensors using various metal phthalocyanines were prepared by vacuum sublimation method at 390℃ to test the electrical properties of the sensors in the presence of NO₂gas. Among the sensors prepared in the present study, a lead phthalocyanine(PbPc) thin film showed the best performance and its sensitivity was over 80% at 5 ppm of NO₂gas. The structure of PbPc thin film was a mixture of tri and mono-clinic crystal phases. Optimal operating conditions including response time, cyclic treatment of NO₂gas, and selectivity of various reduction and oxidation gases were developed and examined.
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