KCI등재후보
실리콘 팁 전계 방출 소자의 제조 및 동작 특성 평가 = Fabrication and Characterization of Si-tip Field Emitter Array
저자
주병권 (한국과학기술연구원 정보재료소자연구센터) ; 이상조 (한국과학기술연구원 정보재료소자연구센터) ; 박재석 (한국과학기술연구원 정보재료소자연구센터) ; 이윤희 (한국과학기술연구원 정보재료소자연구센터) ; 전동렬 (명지대학교 물리학과) ; 오명환 (한국과학기술연구원 정보재료소자연구센터)
발행기관
학술지명
마이크로전자 및 패키징학회지(Jornal of the Microelectronics and Packaging Society)
권호사항
발행연도
1999
작성언어
Korean
등재정보
KCI등재후보
자료형태
학술저널
수록면
65-73(9쪽)
제공처
Lift-off 공정에 의하여 Si-tip FEA를 제조하고 그 동작 특성을 평가하였다. 게이트 및 양극 전압에 따른 방출 전류의 변화, 최대 방출 전류, 히스테리시스 현상, MOSFET형 특성, 전류 표동, 방출된 전자에 의한 형광체 발광, 그리고 소자의 파괴 메카니즘 등이 실험 결과를 토대로 하여 폭 넓게 평가, 분석되었다.
더보기Si-tip FEAs were fabricated by a lift-off based process and their operating properties were evaluated. The dependence of emission current on applied gate and anode voltages, maximum emission current, hysteresis phenomena, MOSFET-type curves, current fluctuation, light emission from the emitted electrons, and failure mechanism of the device were widely discussed based on the experimental results.
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