중 에너지 이온산란 분광장치의 제작 및 성능 평가

국문 초록 (Abstract)

이온-고체 표면 사이의 상호작용에 관한 연구를 수행하기 위하여 중 에너지 이온산란 분광장치를 개발하였고 그 특성 평가를 수행하였다. 제작된 MEIS의 에너지 분해능은 4×10^(-3)으로 측정되었다. MEIS의 표면분석의 응용으로 60 keV H^+을 Ta₂O_5(300 Å)/Si에 적용하여 에너지 손실인자와 깊이 분해능을 얻은 결과는 42eV/Å와 9.7 Å이었다. 또한, Si(100) 표면에 97.5 keV H^+이온을 random 방향으로 입사시켜 이차윈 스펙트럼을 얻었다.

다국어 초록 (Multilingual Abstract)

A medium energy ion scattering spectroscopy(MEIS) system has been developed and tested. In the MEIS system a toroidal electrostatic energy analyzer(TEA) and a two dimensional position sensitive detector(PSD) were used. The energy resolution of MEIS system was estimated to be less than 4×10^(-3) and the overall angular resolution was less than 0.3°. From the MEIS spectrum of Ta₂O_5(300 Å) on Si analyzed using 60 keV H^+, the energy loss factor[S] and depth resolution were estimated to be 42 eV/Å and 9.7 Å, respectively. Also Si(100) surface was analyzed using the MEIS system. A random MEIS spectrum was obtained from the Si(100) covered with native oxide layers. At the double alignment condition, MEIS spectrum showed a Si surface peak, a oxygen peak and a carbon peak.

목차 (Table of Contents)

• 요약
  
• Abstract
  
• 1. 서론
  
• 2. 실험장치 및 실험
  
• 3. 결과 및 고찰
  
• 4. 결론
  
• 감사의 글
  
• 참고문헌