KCI등재후보
SnO<sub>2</sub>-ZnO계 후막센서 구조에 따른 CO 감지 특성 = CO Sensing Properties in Layer structure of SnO<sub>2</sub>-ZnO System prepared by Thick film Process
저자
박보석 ; 홍광준 ; 김호기 ; 박진성 ; Park, Bo-Seok ; Hong, Kwang-Joon ; Kim, Ho-Gi ; Park, Jin-Seoung
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학술지명
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발행연도
2002
작성언어
Korean
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KCI등재후보
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학술저널
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155-162(8쪽)
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CO 기체 감지 특성을 향상시키기 위해서 3 mol% ZnO를 첨가한 $SnO_2$와 3mol% $SnO_2$를 첨가한 ZnO의 적층 형태를 변화시켜 연구하였다. 적층 구조는 단일층, 복층, 그리고 이종층 구조로 후막 인쇄법을 사용하여 제작하였다. $SnO_2$-ZnO계에서 제 2상은 발견되지 않았다. 전도성은 $SnO_2$에 ZnO를 첨가하면 감소하고, ZnO에 $SnO_2$를 첨가하면 증가하였다. 측정 온도증가와 CO 기체 유입으로 전도성은 증가하였다. 단층 및 복층의 후막센서 구조의 감도 향상은 없었으나, $SnO_2$ 3ZnO-ZnO $3SnO_2$/substrate 구조의 이종층 센서의 감도는 향상되었다. 센서 구조에 관계없이 I-V 변화는 모두 직선성을 나타내서 Ohmic 접합 특성을 이루고 있었다.
더보기The sensing properties of carbon monooxide were investigated as a function of mixing ratio and the lamination structure of 3mol% ZnO-doped $SnO_2$ and 3mol% $SnO_2$-doped ZnO. The lamination structures were fabricared monolayer, double layer, and hetero layer of $SnO_2$, Zno, and theirs mixture composition using thick film process. There was no second phase by the reaction of $SnO_2$ and ZnO. The conductance was decreased by the addition of ZnO in $SnO_2$, but it was increased with the addition of $SnO_2$ in ZnO. The conductance was increased with temperature and the inlet of CO. There was no improvement of sensitivity in the structure of mono- and double-layer. The hetero-layer structure, however, of $SnO_2$ 3ZnO-ZnO $3SnO_2$ showed the higher resistivity and the highest sensitivity. Ohmic characteristics was confirmed by the linear properties for I-V measurements.
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