KCI등재후보
SCOPUS
비정질 YBaCuO 박막을 이용한 비냉각형 적외선 검출기의 제작 및 특성 분석 = Fabrication and Characterization of Uncooled IR Detectors Using Amorphous YBaCuO Thin Films
저자
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2003
작성언어
-등재정보
KCI등재후보,SCOPUS
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
187-192(6쪽)
KCI 피인용횟수
0
제공처
소장기관
If an uncooled IR bolometer with high responsivity is to be fabricated IR--sensitive
materials with high temperature coefficients of resistance (TCR) and a thermally
isolated structures are required. In this research, we attempted to fabricate an
uncooled IR bolometer by using an IR--sensitive amorphous YBaCuO thin film with a
high TCR and a SiO$_2$ membrane with a thermally isolated structure.
For this purpose, mechanically stable SiO$_2$ membranes were built by controlling
the HF concentration in an isotropic Si etchant, a HF : HNO$_3$ solution. Also,
amorphous YBaCuO thin films with these high TCR values above $-$3.0 \%/K
were fabricated. Combining these two materials, we
successfully fabricated uncooled IR bolometers. The TCR values of them the bolometers
were about $-$2.5 \%/K, which
was slightly below the values for the as--deposited YBaCuO thin films.
We also confirmed that the bolometers exhibited an optical response to IR, and that the width
of their voltage change increased proportionally with the power of the IR lamp.
높은 응답도를 갖는 상온 적외선 볼로미터 소자를 제작하기 위해서는 높은 TCR 값을
갖는 적외선 감지층과 열적으로 고립된 구조가 필요하다. 본 연구에서는 열적으로
고립된 SiO$_2$ 멤브레인을 제작하고, 그 위에 높은 TCR 값을 갖는 감지재료인
비정질 YBaCuO를 증착함으로서 상온 적외선 볼로미터를 제작하고자 하였다. 이를
위하여 등방성 실리콘 에칭 용액인 HF : HNO$_3$ 용액에서 HF의 농도를
조절함으로서 안정적인 SiO$_2$ 멤브레인을 제작하였고, TCR 값이 약 $-$3.0 \%/K
이상인 비정질 YBaCuO 박막을 증착하였다. 이와같은 결과를 이용하여 상온 적외선
볼로미터를 성공적으로 제작하였다. 제작된 소자의 TCR 값은 약간 감소하여 약
$-$2.5 \%/K 정도로 측정되었지만, 광반응 실험 결과 적외선 램프의 파워에 따라
볼로미터의 전압 변화가 선형적으로 증가함을 확인하였다.
분석정보
연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
---|---|---|---|
2023 | 평가예정 | 해외DB학술지평가 신청대상 (해외등재 학술지 평가) | |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (해외등재 학술지 평가) | KCI등재 |
2016-09-05 | 학술지명변경 | 외국어명 : Sae Mulli(New Physics) -> New Physics: Sae Mulli | KCI등재 |
2015-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2011-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2009-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2007-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2004-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2003-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2002-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 유지 (등재후보1차) | KCI후보 |
1999-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.18 | 0.18 | 0.17 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.15 | 0.14 | 0.3 | 0.1 |
서지정보 내보내기(Export)
닫기소장기관 정보
닫기권호소장정보
닫기오류접수
닫기오류 접수 확인
닫기음성서비스 신청
닫기음성서비스 신청 확인
닫기이용약관
닫기학술연구정보서비스 이용약관 (2017년 1월 1일 ~ 현재 적용)
학술연구정보서비스(이하 RISS)는 정보주체의 자유와 권리 보호를 위해 「개인정보 보호법」 및 관계 법령이 정한 바를 준수하여, 적법하게 개인정보를 처리하고 안전하게 관리하고 있습니다. 이에 「개인정보 보호법」 제30조에 따라 정보주체에게 개인정보 처리에 관한 절차 및 기준을 안내하고, 이와 관련한 고충을 신속하고 원활하게 처리할 수 있도록 하기 위하여 다음과 같이 개인정보 처리방침을 수립·공개합니다.
주요 개인정보 처리 표시(라벨링)
목 차
3년
또는 회원탈퇴시까지5년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한3년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한2년
이상(개인정보보호위원회 : 개인정보의 안전성 확보조치 기준)개인정보파일의 명칭 | 운영근거 / 처리목적 | 개인정보파일에 기록되는 개인정보의 항목 | 보유기간 | |
---|---|---|---|---|
학술연구정보서비스 이용자 가입정보 파일 | 한국교육학술정보원법 | 필수 | ID, 비밀번호, 성명, 생년월일, 신분(직업구분), 이메일, 소속분야, 웹진메일 수신동의 여부 | 3년 또는 탈퇴시 |
선택 | 소속기관명, 소속도서관명, 학과/부서명, 학번/직원번호, 휴대전화, 주소 |
구분 | 담당자 | 연락처 |
---|---|---|
KERIS 개인정보 보호책임자 | 정보보호본부 김태우 | - 이메일 : lsy@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0439 - 팩스번호 : 053-714-0195 |
KERIS 개인정보 보호담당자 | 개인정보보호부 이상엽 | |
RISS 개인정보 보호책임자 | 대학학술본부 장금연 | - 이메일 : giltizen@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0149 - 팩스번호 : 053-714-0194 |
RISS 개인정보 보호담당자 | 학술진흥부 길원진 |
자동로그아웃 안내
닫기인증오류 안내
닫기귀하께서는 휴면계정 전환 후 1년동안 회원정보 수집 및 이용에 대한
재동의를 하지 않으신 관계로 개인정보가 삭제되었습니다.
(참조 : RISS 이용약관 및 개인정보처리방침)
신규회원으로 가입하여 이용 부탁 드리며, 추가 문의는 고객센터로 연락 바랍니다.
- 기존 아이디 재사용 불가
휴면계정 안내
RISS는 [표준개인정보 보호지침]에 따라 2년을 주기로 개인정보 수집·이용에 관하여 (재)동의를 받고 있으며, (재)동의를 하지 않을 경우, 휴면계정으로 전환됩니다.
(※ 휴면계정은 원문이용 및 복사/대출 서비스를 이용할 수 없습니다.)
휴면계정으로 전환된 후 1년간 회원정보 수집·이용에 대한 재동의를 하지 않을 경우, RISS에서 자동탈퇴 및 개인정보가 삭제처리 됩니다.
고객센터 1599-3122
ARS번호+1번(회원가입 및 정보수정)