SCOPUS
KCI등재
PdOx가 도핑된 나노 기공구조 SiO<sub>2</sub>/Si 기반의 수소 게터 제작 및 특성평가 = Fabrication and Characterization of Hydrogen Getter Based on Palladium Oxide Doped Nanoporous SiO<sub>2</sub>/Si Substrate
저자
엄누시아 (한양대학교) ; 임효령 (한양대학교) ; 최요민 (한양대학교) ; 정영훈 (한국세라믹기술원) ; 조정호 (한국세라믹기술원) ; 좌용호 (한양대학교) ; Eom, Nu Si A ; Lim, Hyo Ryoung ; Choi, Yo-Min ; Jeong, Young-Hun ; Cho, Jeong-Ho ; Choa, Yong-Ho
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2014
작성언어
Korean
주제어
등재정보
SCOPUS,KCI등재,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
573-577(5쪽)
제공처
The existing metal getters are invariably covered with thin oxide layers in air and the native oxide layer must be dissolved into the getter materials for activation. However, high temperature is needed for the activation, which leads to unavoidable deleterious effects on the devices. Therefore, to improve the device efficiency and gas-adsorption properties of the device, it is essential to synthesize the getter with a method that does not require a thermal activation temperature. In this study, getter material was synthesized using palladium oxide (PdOx) which can adsorb $H_2$ gas. To enhance the efficiency of the hydrogen and moisture absorption, a porous layer with a large specific area was fabricated by an etching process and used as supporting substrates. It was confirmed that the moisture-absorption performance of the $SiO_2/Si$ was characterized by water vapor volume with relative humidity. The gas-adsorption properties occurred in the absence of the activation process.
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