조성비에 따른 칼코게나이드 As_40Ge_10Se_50-_xS_x 박막의 광유기 스칼라 현상에 대한 연구 = A Study on the Photo-induced Scalar Phenomena of Chalcogenide As_40Ge_10Se_50-_xS_x Thin Films with Composition Ratio Change
저자
정홍배 (광운대학교 공과대학 전자재료공학과)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
1997
작성언어
Korean
주제어
KDC
569.000
자료형태
학술저널
수록면
55-63(9쪽)
제공처
비정질 (Se, S)를 기본으로 한 칼코게나이드유리질 박막은 굴절률변화를 이용한 홀로그래픽 수퍼마이크로피쉬에 응용이 되고 있다. 본 연구에서는 조성비변화에 따른 (Se, S)를 기본으로한 칼코게나이드 박막에서 광유기 스칼라현상에 대하여 관찰하였다. 최적의 조성비를 찾기 위하여 10000Å께의 As_40Ge_10Se_50-xS_x (x=0, 25, 35 at. %)박막을 제작하였다. 실험결과 15분간 blue-pass filtered Hg lamp(∼ 4300Å과 200℃로 처리한 경우 각각 6328Å7800Å 파장에서 굴절률변화량, △n 이 0.007∼0.35 정도 변화됨을 알 수 있었다. 또한 초기에 열처리한 As_40Ge_10Se_15S_35 박막에서 광흑화현상과 열표백화현상이 나타남을 알았다. 결국 칼코게나이드 As_40Ge_10Se_15S_35 박막이 비정질(Se, S)을 기본으로한 칼코게나이드유리질 박막에서 최적의 조성임을 알 수 있었다.
Amorphous (Se, S)-based chalcogenide films are attracted and used for a holographic supermicrofiche by using the refractive-index change.
In this study, we investigated the photo-induced scalar phenomena of (Se, S)-based chalcogenide thin film with composition ratio change. In order to find the optimum composition ratio, we fabricated the 10,000 thick As_40Ge_10Se_50-xS_x (x=0, 25, 35 at. %) thin film by thermal evaporation.
As the results, it was found that the amount of refractive-index change, △n reaches 0.007∼0.35 at the wavelength of 6328Å800Åy exposing for 15 minutes blue-pass filtered Hg lamp(∼4300Åand annealing 200℃. And it was shown the photodarkening(PD) and thermal bleaching(TB) phenomena in initially annealed As_40Ge_10Se_15S_35 thin film.
So, we were concluded that chalcogenide As_40Ge_10Se_15S_35 thin film must be the optimum composition ratio of amorphous (Se, S)-based chalcogenide films.
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