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        연구보고서
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        KCI등재

        실험계획법을 적용한 웨이퍼 폴리싱의 최적 조건 선정에 관한 연구

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            목차 (Table of Contents)
            • Abstract
            • 1. 서론
            • 2. 300㎜ 웨이퍼 폴리싱
            • 3. 실험 장치 및 조건
            • 4. 결론
            • 후기
            • 참고문헌
            더보기
            참고문헌 (Reference) 논문관계도
            • 1 Lee J. T., "The study on the performance evaluation of 12 inch wafer polishing system" 281-, 2006
            • 2 Won J. K., "The study on the optimum Machining characteristic of 12 inch wafer polishing" 282-, 2006
            • 3 Lee J. H., "Selection of Optimum Conditions for Improving Surface Roughness of Ferrule in Centerless Grinding" 63-69, 2007
            • 4 Lim H. S., "Optimization of ceramic grinding by Applying Taguchi Method" 155-159, 2002
            • 5 Kwon D. H., "A study on the decay of friction force during CMP" 972-975,
            • 6 Pei Z. J., "A study on surface grinding of 300 mm silicon wafers" 42 : 385-393, 2002

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                          2019-01-01 등재 등재학술지 선정 (계속평가) KCI등재
                          2018-12-01 등재 등재후보로 하락 (계속평가) KCI후보
                          2016-12-12 학술지명변경 외국어명 : Journal of Manufacturing Engineening & Technology -> Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers KCI등재
                          2016-10-20 학회명변경 한글명 : 한국생산제조시스템학회 -> 한국생산제조학회 KCI등재
                          2016-10-18 학술지명변경 한글명 : 한국생산제조시스템학회지 -> 한국생산제조학회지 KCI등재
                          2015-01-01 등재 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
                          2011-02-17 학술지명변경 한글명 : 한국공작기계학회지 -> 한국생산제조시스템학회지
                          외국어명 : Journal of the Korean Society of Machine Tool Engineers -> Journal of Manufacturing Engineening & Technology                          		 KCI등재
                          2011-01-17 학회명변경 한글명 : 한국공작기계학회 -> 한국생산제조시스템학회
                          영문명 : The Korean Society Of Machine Tool Engineers -> The Korean Society of Manufacturing Technology Engineers                          		 KCI등재
                          2011-01-01 등재 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
                          2009-06-01 학술지명변경 한글명 : 한국공작기계학회 논문집 -> 한국공작기계학회지
                          외국어명 : Transactions of the Korean Society of Machine Tool Engineers -> Journal of the Korean Society of Machine Tool Engineers                          		 KCI등재
                          2009-01-01 등재 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
                          2007-01-01 등재 등재학술지 유지 (등재유지) KCI등재
                          2004-01-01 등재 등재학술지 선정 (등재후보2차) KCI등재
                          2003-01-01 등재 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) KCI후보
                          2002-01-01 등재 등재후보학술지 유지 (등재후보1차) KCI후보
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                                학술연구정보서비스 이용약관 (2017년 1월 1일 ~ 현재 적용)

                                1. 제 1 장 총칙

                                  1. 제 1 조 (목적)

                                    • 이 약관은 한국교육학술정보원(이하 "교육정보원"라 함)이 제공하는 학술연구정보서비스의 웹사이트(이하 "서비스" 라함)의 이용에 관한 조건 및 절차와 기타 필요한 사항을 규정하는 것을 목적으로 합니다.

                                  2. 제 2 조 (약관의 효력과 변경)

                                    1. ① 이 약관은 서비스 메뉴에 게시하여 공시함으로써 효력을 발생합니다.
                                    2. ② 교육정보원은 합리적 사유가 발생한 경우에는 이 약관을 변경할 수 있으며, 약관을 변경한 경우에는 지체없이 "공지사항"을 통해 공시합니다.
                                    3. ③ 이용자는 변경된 약관사항에 동의하지 않으면, 언제나 서비스 이용을 중단하고 이용계약을 해지할 수 있습니다.

                                  3. 제 3 조 (약관외 준칙)

                                    • 이 약관에 명시되지 않은 사항은 관계 법령에 규정 되어있을 경우 그 규정에 따르며, 그렇지 않은 경우에는 일반적인 관례에 따릅니다.

                                  4. 제 4 조 (용어의 정의)

                                    이 약관에서 사용하는 용어의 정의는 다음과 같습니다.
                                    1. ① 이용자 : 교육정보원과 이용계약을 체결한 자
                                    2. ② 이용자번호(ID) : 이용자 식별과 이용자의 서비스 이용을 위하여 이용계약 체결시 이용자의 선택에 의하여 교육정보원이 부여하는 문자와 숫자의 조합
                                    3. ③ 비밀번호 : 이용자 자신의 비밀을 보호하기 위하여 이용자 자신이 설정한 문자와 숫자의 조합
                                    4. ④ 단말기 : 서비스 제공을 받기 위해 이용자가 설치한 개인용 컴퓨터 및 모뎀 등의 기기
                                    5. ⑤ 서비스 이용 : 이용자가 단말기를 이용하여 교육정보원의 주전산기에 접속하여 교육정보원이 제공하는 정보를 이용하는 것
                                    6. ⑥ 이용계약 : 서비스를 제공받기 위하여 이 약관으로 교육정보원과 이용자간의 체결하는 계약을 말함
                                    7. ⑦ 마일리지 : RISS 서비스 중 마일리지 적립 가능한 서비스를 이용한 이용자에게 지급되며, RISS가 제공하는 특정 디지털 콘텐츠를 구입하는 데 사용하도록 만들어진 포인트

                                2. 제 2 장 서비스 이용 계약

                                  1. 제 5 조 (이용계약의 성립)

                                    1. ① 이용계약은 이용자의 이용신청에 대한 교육정보원의 이용 승낙에 의하여 성립됩니다.
                                    2. ② 제 1항의 규정에 의해 이용자가 이용 신청을 할 때에는 교육정보원이 이용자 관리시 필요로 하는
                                      사항을 전자적방식(교육정보원의 컴퓨터 등 정보처리 장치에 접속하여 데이터를 입력하는 것을 말합니다)
                                      이나 서면으로 하여야 합니다.
                                    3. ③ 이용계약은 이용자번호 단위로 체결하며, 체결단위는 1 이용자번호 이상이어야 합니다.
                                    4. ④ 서비스의 대량이용 등 특별한 서비스 이용에 관한 계약은 별도의 계약으로 합니다.

                                  2. 제 6 조 (이용신청)

                                    1. ① 서비스를 이용하고자 하는 자는 교육정보원이 지정한 양식에 따라 온라인신청을 이용하여 가입 신청을 해야 합니다.
                                    2. ② 이용신청자가 14세 미만인자일 경우에는 친권자(부모, 법정대리인 등)의 동의를 얻어 이용신청을 하여야 합니다.

                                  3. 제 7 조 (이용계약 승낙의 유보)

                                    1. ① 교육정보원은 다음 각 호에 해당하는 경우에는 이용계약의 승낙을 유보할 수 있습니다.
                                      1. 1. 설비에 여유가 없는 경우
                                      2. 2. 기술상에 지장이 있는 경우
                                      3. 3. 이용계약을 신청한 사람이 14세 미만인 자로 친권자의 동의를 득하지 않았을 경우
                                      4. 4. 기타 교육정보원이 서비스의 효율적인 운영 등을 위하여 필요하다고 인정되는 경우
                                    2. ② 교육정보원은 다음 각 호에 해당하는 이용계약 신청에 대하여는 이를 거절할 수 있습니다.
                                      1. 1. 다른 사람의 명의를 사용하여 이용신청을 하였을 때
                                      2. 2. 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재하였을 때

                                  4. 제 8 조 (계약사항의 변경)

                                    이용자는 다음 사항을 변경하고자 하는 경우 서비스에 접속하여 서비스 내의 기능을 이용하여 변경할 수 있습니다.
                                    1. ① 성명 및 생년월일, 신분, 이메일
                                    2. ② 비밀번호
                                    3. ③ 자료신청 / 기관회원서비스 권한설정을 위한 이용자정보
                                    4. ④ 전화번호 등 개인 연락처
                                    5. ⑤ 기타 교육정보원이 인정하는 경미한 사항

                                3. 제 3 장 서비스의 이용

                                  1. 제 9 조 (서비스 이용시간)

                                    • 서비스의 이용 시간은 교육정보원의 업무 및 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간(00:00-24:00)을 원칙으로 합니다. 다만 정기점검등의 필요로 교육정보원이 정한 날이나 시간은 그러하지 아니합니다.

                                  2. 제 10 조 (이용자번호 등)

                                    1. ① 이용자번호 및 비밀번호에 대한 모든 관리책임은 이용자에게 있습니다.
                                    2. ② 명백한 사유가 있는 경우를 제외하고는 이용자가 이용자번호를 공유, 양도 또는 변경할 수 없습니다.
                                    3. ③ 이용자에게 부여된 이용자번호에 의하여 발생되는 서비스 이용상의 과실 또는 제3자에 의한 부정사용 등에 대한 모든 책임은 이용자에게 있습니다.

                                  3. 제 11 조 (서비스 이용의 제한 및 이용계약의 해지)

                                    1. ① 이용자가 서비스 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 온라인으로 교육정보원에 해지신청을 하여야 합니다.
                                    2. ② 교육정보원은 이용자가 다음 각 호에 해당하는 경우 사전통지 없이 이용계약을 해지하거나 전부 또는 일부의 서비스 제공을 중지할 수 있습니다.
                                      1. 1. 타인의 이용자번호를 사용한 경우
                                      2. 2. 다량의 정보를 전송하여 서비스의 안정적 운영을 방해하는 경우
                                      3. 3. 수신자의 의사에 반하는 광고성 정보, 전자우편을 전송하는 경우
                                      4. 4. 정보통신설비의 오작동이나 정보 등의 파괴를 유발하는 컴퓨터 바이러스 프로그램등을 유포하는 경우
                                      5. 5. 정보통신윤리위원회로부터의 이용제한 요구 대상인 경우
                                      6. 6. 선거관리위원회의 유권해석 상의 불법선거운동을 하는 경우
                                      7. 7. 서비스를 이용하여 얻은 정보를 교육정보원의 동의 없이 상업적으로 이용하는 경우
                                      8. 8. 비실명 이용자번호로 가입되어 있는 경우
                                      9. 9. 일정기간 이상 서비스에 로그인하지 않거나 개인정보 수집․이용에 대한 재동의를 하지 않은 경우
                                    3. ③ 전항의 규정에 의하여 이용자의 이용을 제한하는 경우와 제한의 종류 및 기간 등 구체적인 기준은 교육정보원의 공지, 서비스 이용안내, 개인정보처리방침 등에서 별도로 정하는 바에 의합니다.
                                    4. ④ 해지 처리된 이용자의 정보는 법령의 규정에 의하여 보존할 필요성이 있는 경우를 제외하고 지체 없이 파기합니다.
                                    5. ⑤ 해지 처리된 이용자번호의 경우, 재사용이 불가능합니다.

                                  4. 제 12 조 (이용자 게시물의 삭제 및 서비스 이용 제한)

                                    1. ① 교육정보원은 서비스용 설비의 용량에 여유가 없다고 판단되는 경우 필요에 따라 이용자가 게재 또는 등록한 내용물을 삭제할 수 있습니다.
                                    2. ② 교육정보원은 서비스용 설비의 용량에 여유가 없다고 판단되는 경우 이용자의 서비스 이용을 부분적으로 제한할 수 있습니다.
                                    3. ③ 제 1 항 및 제 2 항의 경우에는 당해 사항을 사전에 온라인을 통해서 공지합니다.
                                    4. ④ 교육정보원은 이용자가 게재 또는 등록하는 서비스내의 내용물이 다음 각호에 해당한다고 판단되는 경우에 이용자에게 사전 통지 없이 삭제할 수 있습니다.
                                      1. 1. 다른 이용자 또는 제 3자를 비방하거나 중상모략으로 명예를 손상시키는 경우
                                      2. 2. 공공질서 및 미풍양속에 위반되는 내용의 정보, 문장, 도형 등을 유포하는 경우
                                      3. 3. 반국가적, 반사회적, 범죄적 행위와 결부된다고 판단되는 경우
                                      4. 4. 다른 이용자 또는 제3자의 저작권 등 기타 권리를 침해하는 경우
                                      5. 5. 게시 기간이 규정된 기간을 초과한 경우
                                      6. 6. 이용자의 조작 미숙이나 광고목적으로 동일한 내용의 게시물을 10회 이상 반복하여 등록하였을 경우
                                      7. 7. 기타 관계 법령에 위배된다고 판단되는 경우

                                  5. 제 13 조 (서비스 제공의 중지 및 제한)

                                    1. ① 교육정보원은 다음 각 호에 해당하는 경우 서비스 제공을 중지할 수 있습니다.
                                      1. 1. 서비스용 설비의 보수 또는 공사로 인한 부득이한 경우
                                      2. 2. 전기통신사업법에 규정된 기간통신사업자가 전기통신 서비스를 중지했을 때
                                    2. ② 교육정보원은 국가비상사태, 서비스 설비의 장애 또는 서비스 이용의 폭주 등으로 서비스 이용에 지장이 있는 때에는 서비스 제공을 중지하거나 제한할 수 있습니다.

                                  6. 제 14 조 (교육정보원의 의무)

                                    1. ① 교육정보원은 교육정보원에 설치된 서비스용 설비를 지속적이고 안정적인 서비스 제공에 적합하도록 유지하여야 하며 서비스용 설비에 장애가 발생하거나 또는 그 설비가 못쓰게 된 경우 그 설비를 수리하거나 복구합니다.
                                    2. ② 교육정보원은 서비스 내용의 변경 또는 추가사항이 있는 경우 그 사항을 온라인을 통해 서비스 화면에 공지합니다.

                                  7. 제 15 조 (개인정보보호)

                                    1. ① 교육정보원은 공공기관의 개인정보보호에 관한 법률, 정보통신이용촉진등에 관한 법률 등 관계법령에 따라 이용신청시 제공받는 이용자의 개인정보 및 서비스 이용중 생성되는 개인정보를 보호하여야 합니다.
                                    2. ② 교육정보원의 개인정보보호에 관한 관리책임자는 학술연구정보서비스 이용자 관리담당 부서장(학술정보본부)이며, 주소 및 연락처는 대구광역시 동구 동내로 64(동내동 1119) KERIS빌딩, 전화번호 054-714-0114번, 전자메일 privacy@keris.or.kr 입니다. 개인정보 관리책임자의 성명은 별도로 공지하거나 서비스 안내에 게시합니다.
                                    3. ③ 교육정보원은 개인정보를 이용고객의 별도의 동의 없이 제3자에게 제공하지 않습니다. 다만, 다음 각 호의 경우는 이용고객의 별도 동의 없이 제3자에게 이용 고객의 개인정보를 제공할 수 있습니다.
                                      1. 1. 수사상의 목적에 따른 수사기관의 서면 요구가 있는 경우에 수사협조의