Sol-Gel 법에 의한 PLZT 강유전체 박막의 제조 = Fabrications of PLZT Ferroelectric Thin Films by Sol-Gel Method
저자
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
1998
작성언어
Korean
주제어
KDC
400
자료형태
학술저널
수록면
27-39(13쪽)
제공처
소장기관
다층기판 Pt/Ti/SiO₂/Si를 제작하고 그 위에 (Pb??La??)(Zr ??Ti??)O₃인 acetate system 용액을 사용하여 Sol-Gel 법으로 PLZT박막을 제조하였다. XRD 분석에 의하면 Ar 이나 공기 분위기에서 열처리 할 경우 550℃∼750℃ 범위의 온도에서 결정화가 이루어짐을 알 수 있다. 그러나 공기 분위기 하에서 열처리한 경우 550℃에서 결정화가 완전히 끝나지 않고 진행 중이라는 것을 알 수 있으며, (110) peaks가 550℃에서 보다 650℃에서 더 크게 자랐으나 750℃에서 더 이상 자라지 않은 것으로 보아 최적합 결정화 온도는 650이하라고 생각한다. Ar 분위기에서 열처리한 샘플의 경우 (110) peaks가 550℃에 거의 성장이 완료되고 650℃에 포화되었다가 750℃에서는 퇴보되었다. 이것으로부터 Ar 분위기 하에서는 결정화 온도가 공기 분위기의 경우보다도 대략 50℃ 정도 낮을 것이라고 생각 할 수 있다. SEM 사진으로부터 공기 분위기 하에서 650℃를 유지하며 1시간 동안 열처리한 샘플의 경우 직경이 약 0.015 ㎛ 인 페로브스카이트 구조의 상을 갖는 rosette 구조가 비교적 고르게 분포되어 있으며 750℃를 유지하며 1시간 동안 열처리하였을 경우에는 이것의 크기가 0.028 ㎛ 로 성장하였음을 알 수 있다. 그리고 Ar 분위기에서 650℃를 유지하며 1시간 동안 열처리한 샘플의 표면의 상태나 rosette의 크기는 공기 분위기 750℃에서 1시간 동안 열처리한 샘플과 똑같았다. 이것은 XRD 분석의 결과와도 서로 부합하는 것이다.
We have fabricated PLZT thin films on the multi-layered substrates, Pt/Ti/SiO₂/Si, using Sol-Gel technique with the solution of (Pb??La??)(Zr??Ti??)O₃acetate system. According to XRD analysis, the spin-coated solution has been crystallized at the temperature range of 550℃∼750℃ in air or Ar atmosphere. However, the crystallization was still progressing at the temperature of 550℃ in air and the optimum temperature for crystallization seems to be around 650℃ according to the grown patterns of (110) peaks in the samples which has been annealed at the temperatures of 550℃, 650℃, and 750℃. The crystallization temperature in Ar atmosphere seems to be about 50℃ lower than that in air since the growth of the (110)peaks is nearly ended at the annealing temperature of 550℃, saturated at 650℃, and degraded at 750℃. SEM images show that the heat-treated sample at 650℃ for 1 hour in air has the rosette structure of perovskite phases with the size of about 0.015 ㎛n in diameter and the size of the rosette structure has grown to 0.028 ㎛ when the sample was annealed at 750℃ for 1 hour in air. the surface morphology and rosette size of the heat-treated sample at 750℃ for 1 hour in air. This observation is consistent with the results of the XRD analysis above.
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