KCI등재
전자빔 증발원을 이용한 물질의 증발 특성
저자
정재인(J. I. Jeong) ; 양지훈(J.H. Yang) ; 박혜선(H.S. Park) ; 정재훈(J.H. Jung) ; 송민아(M.A. Song)
발행기관
학술지명
한국표면공학회지(Journal of The Korean Institute of Surface Engineering)
권호사항
발행연도
2011
작성언어
Korean
주제어
등재정보
KCI등재
자료형태
학술저널
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수록면
155-164(10쪽)
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3
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Electron beam evaporation source is widely used to prepare thin films by physical vapor deposition because it is very effective to vaporize materials and there is virtually no limit to vaporize materials including metals and compounds such as oxide. In this study, evaporation characteristics of various metals and compounds from an electron beam evaporation source have been studied. The 180 degree deflection type electron beam evaporation source which has 6-hearth crucibles and is capable of inputting power up to 10 ㎾ was employed for evaporation experiment. 36 materials including metals, oxides and fluorides have been tested and described in terms of optimum crucible liner, evaporation state, stability, and so on. Various crucible liners have been tried to find out the most effective way to vaporize materials. Two types of crucible liners have been employed in this experiment. One is contact type liner, and the other is non-contact type one. It has been tried to give the objective information and the most effective evaporation method on the evaporation of materials from the electron beam evaporation source. It is concluded that the electron beam evaporation source can be used to prepare good quality films by choosing the appropriate crucible liner.
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연월일 | 이력구분 | 이력상세 | 등재구분 |
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2026 | 평가예정 | 재인증평가 신청대상 (재인증) | |
2022-01-28 | 학술지명변경 | 외국어명 : Journal of The Korean Institute of Surface Engineering -> Journal of Surface Science and Engineering | KCI등재 |
2020-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (재인증) | KCI등재 |
2017-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (계속평가) | KCI등재 |
2013-01-01 | 평가 | 등재 1차 FAIL (등재유지) | KCI등재 |
2010-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2008-01-01 | 평가 | 등재학술지 유지 (등재유지) | KCI등재 |
2005-01-01 | 평가 | 등재학술지 선정 (등재후보2차) | KCI등재 |
2004-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 PASS (등재후보1차) | KCI후보 |
2003-01-01 | 평가 | 등재후보학술지 유지 (등재후보1차) | KCI후보 |
2002-01-01 | 평가 | 등재후보 1차 FAIL (등재후보1차) | KCI후보 |
1999-07-01 | 평가 | 등재후보학술지 선정 (신규평가) | KCI후보 |
기준연도 | WOS-KCI 통합IF(2년) | KCIF(2년) | KCIF(3년) |
---|---|---|---|
2016 | 0.49 | 0.49 | 0.39 |
KCIF(4년) | KCIF(5년) | 중심성지수(3년) | 즉시성지수 |
0.36 | 0.34 | 0.411 | 0.16 |
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