KCI우수등재
SCOPUS
분광타원법을 이용한 스퍼터된 Ta₂O₅ 박막의 광학적 특성
저자
김선희(Sun-Hee Kim) ; 이의현(Eui-Hyun Lee) ; 정인우(In-Woo Jung) ; 현장훈(Jang-Hoon Hyun) ; 이성용(Sung-Young Lee) ; 강만일(Man-Il Kang) ; 류지욱(Ji-Wook Ryu)
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
2009
작성언어
Korean
주제어
등재정보
KCI우수등재,SCOPUS,ESCI
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
133-140(8쪽)
제공처
소장기관
본 연구에서는 RF 파워, 기판의 종류, 산소분압비의 다양한 제작조건으로 RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용하여 Ta₂O? 박막을 제작하였다. 제작된 Ta₂O? 박막의 분석을 위해 위상변조방식의 분광타원계를 이용하여 타원상수를 1.0∼4.0eV 영역에 걸쳐 측정하였고, Tauc-Lorentz 분산관계식을 이용하여 박막의 두께와 광학상수를 분석한 결과 제작조건에 따른 광학상수의 크기와 분산형태의 변화가 나타났다. 또한 분산관계식에 의해 분석된 박막의 두께와 광학상수를 이용하여 얻은 투과율 스펙트럼을 UV-Vis 분광광도계에 의해 측정된 값과 비교하여 타원상수 분석을 통해 얻은 두께와 광학상수의 신뢰성을 확인하였다.
더보기Ta₂O? thin films were deposited by RF magnetron sputtering method under various RF power, substrates and oxygen partial pressure. Elliptic constants were measured by using a phase modulated spectroscopic ellipsometer and analyzed with the Tauc-Lorentz dispersion formula and best fit method in the range of 310~1239 ㎚. Also, transmittance spectra of the films were measured by UV-Vis spectrophotometer in the range of 300~1000 ㎚. From these data, thickness of Ta₂O? and surface layer were analyzed and changes of magnitude and shape of dispersion of optical constants according to fabricated conditions were measured. Also, to evaluate thickness and optical constants data analyzed by Tauc-Lorentz dispersion formula, the measured and analyzed transmittance spectra were compared. In result of the comparison, two spectra were in good agreement each other. Accordingly, it indicates that our ellipsometric analysis is valid.
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