KCI등재후보
광학적 신호감지의 유전박막 다이아프레임을 이용하는 압력센서 = Thin dielectric diaphragm pressure sensor with optical readout
저자
김명규 ; 유양욱 ; 박동수 ; 김진섭 ; 이정희 ; 손병기 ( Myung Gyoo Kim ; Yang Woog Ryu ; Dong Soo Park ; Jin Sup Kim ; Jung Hee Lee ; Byung Ki Sohn )
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
1996
작성언어
-KDC
500
등재정보
KCI등재후보
자료형태
학술저널
발행기관 URL
수록면
1-7(7쪽)
제공처
소장기관
Optical intensity-type pressure sensor was fabricated by coupling optical fiber with a micromachined thin dielectric diaphragm, which consists of a 300 nm thick SiO₂ layer sandwiched between 150 nm thick top and bottom Si₃N₄ layers. At the wavelength of the sensor light source near 1.3 ㎛, the optical transmittance of the diaphragm was about 50 %, but it was decreased to a few percents by depositing 1,000 Å. thick gold(Au) layer on the diaphragm, which is sufficient enough to be used as a light reflection layer of the sensor. From the optical output power-pressure characteristics of the sensors, it was found that the output power linearly decreased with increasing applied pressure from 0 to 77 torr regardless of the diaphragm size. The respective sensitivities were 0.52, 0.65, and 0.77 nW/torr for the diaphragm sizes of 3 X 3, 4 x 4, and 5 X 5 ㎟, indicating that the sensitivity increases as diaphragm size decreases.
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