KCI우수등재
SCOPUS
Zn / PET 증착 박막의 구조 및 산화특성
저자
발행기관
학술지명
권호사항
발행연도
1994
작성언어
Korean
등재정보
KCI우수등재,SCOPUS,ESCI
자료형태
학술저널
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수록면
220-226(7쪽)
제공처
본 연구에서는 폴리에스터(PET) 필름 위에 아연을 연속적으로 진공 증착하는 실험을 수행한 후, 얻어진 박막의 조직 및 조성을 SEM 및 AES로 조사하였다. 박막의 X-선 회절분석 결과, 2θ=36˚에서 아연의 (0002)면이 주피크로 나타났으며, 투과 전자 현미경 관찰 결과 hcp 구조로, 증착시 basal plane인 (0001)면에 평행한 방향으로 우선 성장한다. 대기중 노출시 증착필름은 수분 및 산소와 반응하여 매우 다공성이며 부착성이 불량한 산화피막을 형성하기 때문에 1차 피막 형성 후에도 산화가 지속적으로 진행되었다. 박막내 존재하는 산소의 농도는 내부로 갈수록 지수함수적으로 감소하다가 증착금속과 기판간의 계면에서 다시 증가하는 경향을 보인다. 박막의 부식 특성을 조사한 결과, 균일한 산화막 형성과 더불어 수분 존재하에 아연층에 미세한 pin hole이 공극 부분부터 형성되어 갯수가 증가하며 주위로 확장되는 형태를 나타내고 있다.
더보기The continueous deposition of zinc on the polyester substrate by thermal evaporation has been studied. The evaporated film has been examined by SEM and AES to investigate the microstructure and composition. The crystal structure of evaporated zinc film is HCP and it grows preferentially in <0001> direction. The AES test shows diffused oxidation layer. The Cu evenly distributed throughout the layer although it has been deposited from separated source. Due to the porous nature of oxide layer, continuous oxidation occurs even after the formation of thick oxide layer. The oxidation of zinc also occurs at the interface of matal-PET owing to the penetration of oxygen through the PET layer. In addition to the uniform oxidation, formation of pinholes occur at the porous grain boundaries. As the oxidation proceeds, the number and size of pinholes increase which eventually results in the complete destruction of film.
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