저온 공정에서의 high-k 유전막 식각 기술과 메탈 게이트 언더컷(undercut) 프로파일 개선 방법에 대한 연구
저자
발행사항
서울 : 성균관대학교 일반대학원, 2017
학위논문사항
학위논문(석사)-- 성균관대학교 일반대학원 : 반도체디스플레이공학과 2017. 2
발행연도
2017
작성언어
한국어
주제어
발행국(도시)
서울
기타서명
Research on the high-k dielectric etching in low temperature process and the metal gate etching without undercut profile
형태사항
v, 42 p. : 삽화, 표 ; 30 cm
일반주기명
지도교수: 노용한
참고문헌 : p. 37-40
DOI식별코드
소장기관
고성능, 고집적 반도체 제조에서 건식 식각 공정은 수십 나노미터 이하의 미세 패턴 형성을 위해 그 어느때보다 중요성이 커지고 있다. 그리고 소자 성능의 한계를 뛰어넘기 위해 도입되는 신물질과 공정 난이도의 증가는 건식 식각 기술분야에서도 큰 도전 과제가 되고 있다. 본 연구에서는 32 nm 이하의 저전력, 고성능 반도체 제작 과정 중 high-k 유전막과 메탈 게이트 식각 공정에서 부각되어왔던 한계를 극복하고 문제점을 해결하기 위한 연구 결과를 기술하였다. 제2장은 high-k 유전막 식각을 주제로 서술한 부분으로, 고온에서만 가능했던 high-k 유전막 식각 공정을 화학적 스퍼터링(chemical sputtering)방법을 도입해 저온에서도 식각이 가능하도록 하였다. 고온 식각 장비가 필수적이었던 이전 기술과 비교해 반도체 제조의 생산성 및 게이트 풋팅 프로파일 산포가 개선되고, 식각의 민감도가 감소하는 것을 실험적으로 증명하였다. 제3장, 메탈 게이트 식각에서는 PMOS와 NMOS간 구조적인 차이로 인해 발생되는 게이트 언더컷 현상을 측벽 패시베이션 증가와 표면 플라즈마 처리를 통해 개선하였다.
더보기서지정보 내보내기(Export)
닫기소장기관 정보
닫기권호소장정보
닫기오류접수
닫기오류 접수 확인
닫기음성서비스 신청
닫기음성서비스 신청 확인
닫기이용약관
닫기학술연구정보서비스 이용약관 (2017년 1월 1일 ~ 현재 적용)
학술연구정보서비스(이하 RISS)는 정보주체의 자유와 권리 보호를 위해 「개인정보 보호법」 및 관계 법령이 정한 바를 준수하여, 적법하게 개인정보를 처리하고 안전하게 관리하고 있습니다. 이에 「개인정보 보호법」 제30조에 따라 정보주체에게 개인정보 처리에 관한 절차 및 기준을 안내하고, 이와 관련한 고충을 신속하고 원활하게 처리할 수 있도록 하기 위하여 다음과 같이 개인정보 처리방침을 수립·공개합니다.
주요 개인정보 처리 표시(라벨링)
목 차
3년
또는 회원탈퇴시까지5년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한3년
(「전자상거래 등에서의 소비자보호에 관한2년
이상(개인정보보호위원회 : 개인정보의 안전성 확보조치 기준)개인정보파일의 명칭 | 운영근거 / 처리목적 | 개인정보파일에 기록되는 개인정보의 항목 | 보유기간 | |
---|---|---|---|---|
학술연구정보서비스 이용자 가입정보 파일 | 한국교육학술정보원법 | 필수 | ID, 비밀번호, 성명, 생년월일, 신분(직업구분), 이메일, 소속분야, 웹진메일 수신동의 여부 | 3년 또는 탈퇴시 |
선택 | 소속기관명, 소속도서관명, 학과/부서명, 학번/직원번호, 휴대전화, 주소 |
구분 | 담당자 | 연락처 |
---|---|---|
KERIS 개인정보 보호책임자 | 정보보호본부 김태우 | - 이메일 : lsy@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0439 - 팩스번호 : 053-714-0195 |
KERIS 개인정보 보호담당자 | 개인정보보호부 이상엽 | |
RISS 개인정보 보호책임자 | 대학학술본부 장금연 | - 이메일 : giltizen@keris.or.kr - 전화번호 : 053-714-0149 - 팩스번호 : 053-714-0194 |
RISS 개인정보 보호담당자 | 학술진흥부 길원진 |
자동로그아웃 안내
닫기인증오류 안내
닫기귀하께서는 휴면계정 전환 후 1년동안 회원정보 수집 및 이용에 대한
재동의를 하지 않으신 관계로 개인정보가 삭제되었습니다.
(참조 : RISS 이용약관 및 개인정보처리방침)
신규회원으로 가입하여 이용 부탁 드리며, 추가 문의는 고객센터로 연락 바랍니다.
- 기존 아이디 재사용 불가
휴면계정 안내
RISS는 [표준개인정보 보호지침]에 따라 2년을 주기로 개인정보 수집·이용에 관하여 (재)동의를 받고 있으며, (재)동의를 하지 않을 경우, 휴면계정으로 전환됩니다.
(※ 휴면계정은 원문이용 및 복사/대출 서비스를 이용할 수 없습니다.)
휴면계정으로 전환된 후 1년간 회원정보 수집·이용에 대한 재동의를 하지 않을 경우, RISS에서 자동탈퇴 및 개인정보가 삭제처리 됩니다.
고객센터 1599-3122
ARS번호+1번(회원가입 및 정보수정)