센서活用技術

목차 (Table of Contents)

• 목차
• 제1편 전자공업용 센서
• 최근의 전자공업용 센서의 동향 = 3
• 센서의 현상과 장래 동향의 분석 = 3
• 점차 중요성이 커져 가는 시각 센서와 촉각 센서 = 5
• 개발이 기대되는 화학 센서, 바이오 센서 = 6
• 센서 재료의 장래상 = 7
• 센서 테크놀러지의 장래상 = 8
• 인공세포 - 센서의 스마트화 = 9
• IC온도 센서 = 11
• AN6701의 구조와 동작 원리 = 11
• AN6701의 여러 가지 특성 = 13
• 응용 = 15
• 탄성표면파 복사온도 센서 = 16
• 탄성표면파 발진기의 복사 에너지에 의한 주파수 변화 = 16
• 실험 방법 = 18
• 실험 결과 = 19
• 광파이버 온도 센서 = 21
• 갭을 이용한 광파이버 온도 센서 = 21
• 계측·제어 시스템에의 응용 = 24
• 고분자 전해질막 습도 센서 = 27
• 개발의 배경 = 27
• 고분자 전해질 재료와 그 이온 전도 = 28
• 소자 구조 = 28
• 특성 = 28
• 후막 습도 센서와 그 응용 = 32
• 구조 및 원리 = 32
• 제조법 = 32
• 특성 = 33
• 응용 = 34
• 후막 하이브리드 가스 센서 = 36
• 산화물 반도체 후막 센서의 작성법 = 37
• 산화물 반도체 후막 센서의 감가스 특성 = 38
• 가스 농도의 정량 = 39
• 신 가스 경보기와 그 특성 = 41
• 실리콘 집적화 압력 센서 = 42
• 센서의 집적화 = 42
• 온도보상회로의 집적화 = 43
• 압력의 직선성 보상회로의 집적화 = 44
• 집적화 압력 센서의 응용 = 47
• 실리콘 다이어프램형 압력 센서 = 50
• 펠릿의 구조와 피에조 저항 효과의 요인 = 50
• 필릿의 조립 구조 = 52
• 패키지 = 52
• 특성 및 사용법 = 53
• 응용 = 54
• 금후의 과제 = 55
• 전자 혈압계용 실리콘 압력 센서 = 56
• 구조 = 56
• 제법 = 57
• 특성 = 58
• 장점 = 61
• 전자혈압계에의 응용 = 62
• Si압력 센서의 우위성 = 62
• Si압력 센서의 영점보정 = 63
• 공업계측용 반도체 압력 센서 = 64
• 압력 측정의 간편화 = 64
• FPS시리즈 = 64
• FPS의 구조 = 65
• 제조 공정 = 67
• 특성의 측정과 온도 보상 = 67
• 장기 신뢰성 = 68
• 응용기기 예 = 69
• 금후의 방향 = 70
• 박막 웜 캐리어 적외 레이저 광검출소자 = 72
• 안테나 결합소자의 기본 구조 = 72
• 웜 캐리어 소자의 동작 원리 = 73
• 박막 웜 캐리어 소자의 구조와 제작법 = 74
• CO₂레이저광 검출 특성 = 76
• 금후의 과제와 전망 = 77
• LiTaO₃단결정 초전형 적외선 센서 = 79
• 방사 적외선 = 79
• 원리 및 구조 = 80
• 초전형 적외선 센서의 여러 가지 특성 = 82
• 트윈 타이프 = 82
• 응용 = 85
• PbTiO₃박막 초전형 적외선 센서 = 87
• 적외선 검출의 원리와 초전 재료 = 87
• PbTiO₃ 박막의 제작과 유전적 성질 = 88
• PbTiO₃ 박막의 초전 특성 = 89
• Si모놀리딕 센서 = 90
• 반사형 포토 센서 = 94
• 반사형 포토 센서의 구성과 특성 = 94
• 반사형 포토 센서의 응용 = 97
• 8밀리 시네 사이즈 CCD이미지 센서 = 100
• CCD촬상소자의 소형화, 다화소화 = 100
• 8밀리 시네 사이즈 CCD촬상소자 = 101
• 소자특성의 표시 = 105
• CPD고체촬상소자를 사용한 시각 센서 = 107
• 분리형 고체 카메라의 개요 = 107
• 분리형 카메라의 특성 = 111
• CCD리니어 이미지 센서 = 112
• 기본 구성과 동작 원리 = 112
• 광학적 및 전기적 특성 = 113
• 금후의 동향 = 115
• 아모르퍼스 Si포토 센서 = 117
• 포토 센서의 원리와 종류 = 117
• 2차광전류형 포토 센서 = 118
• a-Si : HTFT 이미지 센서 = 123
• 동작 원리 = 123
• 디바이스 구조 및 제조 방법 = 124
• 특성 = 125
• 금후의 방향 = 127
• 컬러 센서 = 129
• 색 계측과 그 필요 = 129
• 반도체 컬러 센서 = 129
• 컬러 센서의 응용례 = 132
• 실리콘 모놀리딕 초음파 센서 = 134
• 소자의 구성 = 136
• PbTiO₃ 박막의 작성 = 136
• 초음파 센서의 여러 가지 특성 = 137
• 리니어 어레이 센서와 그 응용 = 139
• Si플로우 센서 = 140
• Si플로우 센서의 동작 원리 = 140
• 플로우 센서의 칩과 패키지 = 141
• 플로우 센서의 발열체와 온도 상승 = 142
• 플로우 센서의 유속 검출 특성 = 143
• Si플로우 센서의 응용 = 145
• 5산화니오브 박막 산소 센서 = 147
• 산화물 반도체 산소 센서의 동작 원리 = 147
• 센서 재료의 선정 = 148
• 센서의 구성 = 150
• 시험 장치와 시험법 = 150
• 센서 특성 = 151
• 바이오 센서 = 153
• 바이오 센서의 원리와 동향 = 153
• 바이오 센서의 장래 = 156
• ISFET를 사용한 바이오 센서 = 158
• ISFET = 158
• ISFET를 사용한 바이오 센서의 구조 = 158
• 미생물 센서 = 160
• 효소 센서 = 161
• 복합형 효소 센서 = 162
• 금후의 전망 = 162
• 제2편 FA용 센서
• 기계의 지능화를 촉진시키는 센서와 센서 기술 = 167
• 센서와 메카트로닉스 = 167
• 센서의 가치와 분류 = 170
• 변위와 재료 = 177
• 온도, 습도, 가스 = 177
• 터치와 스케일 = 186
• 시각과 촉각 = 191
• 진단과 검사 = 195
• 메카트로닉스화 = 200
• 광응용 센서의 특질과 금후의 과제 = 203
• 광응용 센서의 형과 그 특질 = 203
• 광응용 센서의 구성에 있어서의 특질과 과제 = 206
• 광응용 센서의 실용화에 관한 특질과 과제 = 207
• 금후의 전망 = 207
• 센서와의 인터페이스 회로의 설계 = 209
• 퍼스컴의 입출력 인터페이스 형식 = 209
• 디지틀 센서의 인터페이스 회로 = 210
• 펄스 신호의 센서 회로 = 211
• 애널로그 센서의 인터페이스 회로 = 211
• 이미지 센서의 인터페이스 회로 = 213
• 전자결합식 센서의 인터페이스 회로 = 215
• 고체 이미지 센서 = 216
• 고체 이미지 센서 = 216
• 기본 측정 원리 = 217
• 검출회로 = 217
• 미소 높이의 측정 = 218
• 색 식별 센서 = 222
• 색이란 = 222
• 색채색차계의 구성 = 224
• 주요한 특징 = 224
• 위치 센서 = 226
• 위치 센서의 종류 = 226
• 근접 스위치 = 226
• 광전 스위치 = 227
• 리미트 스위치 = 230
• 그 밖의 위치 센서 = 231
• 자기저항소자 응용 무접촉 변위 센서 = 232
• 자기저항효과와 자기저항소자 = 232
• 변위 센서용 자기저항소자 = 233
• 차동형 자기저항소자의 사용법 = 234
• 변위 센서의 응용례(회전각의 검출) = 237
• 고분해능 변위 센서 = 237
• 차동형 자기저항 변위 센서의 장점 = 238
• 경사각 센서 = 239
• 동작 원리 = 239
• 토크 평형 방식에 의한 장점과 특성 = 240
• 토크 평형 방식에 의한 사용상의 문제점 = 240
• CMS형 경사각 센서의 장점 = 241
• 용도 및 응용례 = 242
• CMS형 경사각 센서의 시방 = 242
• 레벨 센서 = 243
• 정전용량 방식의 원리와 유효성 = 243
• 레벨 센서로서 정전용량 검출기의 구비 조건 = 244
• 새 정전용량식 레벨 센서의 종류 = 246
• 금후의 전망 = 248
• 속도 센서 = 249
• 관성항법 장치와 광파이버 자이로 = 249
• 도플러 레이타 센서 = 251
• 레이저 도플러 속도계 = 252
• 실리콘 트래지스터형 유속 센서 = 253
• 중량 센서 = 254
• 변형 게이지식 변환기의 장점 = 254
• 변형 게이지식 변환기의 결점 = 254
• 하중변환기(Load Cell)의 수감부의 형상 = 254
• 셰어핀형 트랙 스케일형 로드 셀 = 256
• 감압 센서 = 260
• F-R특성 = 260
• 전극의 표면처리 = 261
• 내구성 = 261
• 그 밖의 주의 사항 = 261
• 압력 센서 = 263
• 반도체 압력 센서 = 263
• 정전용량식 압력 센서 = 265
• 그 밖의 방식의 센서 = 266
• 선정시의 주된 주의점 = 267
• 터치 센서 = 268
• 터치 센서의 정밀도와 종류 = 268
• 신호전달 방식과 기계에의 고정 방법 = 269
• OMP/OMM광신호 전달 시스템 = 270
• 터치 센서의 구조와 테이터밍 = 271
• 터치 센서의 진보와 개량 = 272
• 초음파 센서 = 273
• 초음파의 여러 가지 특성 = 273
• 파워 = 274
• 초음파 발생 소자 = 274
• 초음파 기술의 응용 분야 = 275
• 자기 센서 = 279
• 반도체 홀 소자 = 279
• SDME = 281
• 초전형 온도 센서 = 284
• 온도 센서의 종류와 그 원리 = 284
• 초전형 온도 센서 = 286
• 다기능 세라믹 습도 센서 = 290
• 습도와 센서 = 290
• 세라믹 습도 센서 = 291
• 세라믹 습도 가스 센서 = 292
• 세라믹 온도 습도 센서 = 293
• 센서의 정격과 응용 = 296
• 가스 센서 = 297
• 종류 = 297
• 응용 = 298
• 적외선 센서 = 300
• 특성 = 300
• 적외선 센서의 선정 = 301
• 사용시의 유의점 = 301
• 용도 = 302
• 광전계 전압 센서 = 303
• 광전계 전압 센서의 검출부의 구성과 원리 = 303
• 광전계 전압 센서의 성능과 신뢰성 = 303
• 광전계 전압 센서의 예 = 305
• 응용례 = 305
• 제3편 로보트용 센서
• 로보트용 센서의 개발현황 = 309
• 로보트의 구성과 센서의 역할 = 309
• 촉각 센서와 그 개발 현황 = 309
• 시각 센서와 그 개발 현황 = 310
• 근접각 센서와 그 개발 현황 = 311
• 시각 센싱 방식과 응용 현황 = 313
• 자동검사를 위한 시각 센싱 = 313
• 이미지 센서를 사용한 검사 장치 = 314
• 레이저광 주사를 사용한 검사 장치 = 315
• 근접각을 위한 센서 소자 = 317
• 광전식 = 317
• 공기압식 = 318
• 자기식 = 319
• 초음파식 = 319
• 정전용량식 = 320
• 접촉각을 위한 센서 소자 = 322
• 산업용 로보트와 촉각·입각 센서 = 322
• 센서의 선정에 있어서 = 323
• 접촉각 센서 개발의 사례들 = 323
• 입각을 위한 센서 소자 = 328
• Clot의 인공피부 = 328
• JPL의 분포압각 센서 = 329
• 영국에 있어서의 연구 = 330
• MIT의 촉각 센서 = 332
• 미끄럼각을 위한 센서 소자 = 333
• 미끄럼각 센서의 분류 = 333
• 미끄럼 센서의 개발의 예 = 334
• 이용례와 문제점 = 336
• 역각을 위한 센서 소자 = 337
• 역각이란 = 337
• 힘의 측정 방법 = 337
• 역각 센서의 실례 = 338
• 제4편 화학 공업용 센서
• 화학 센서 개발의 니즈와 시즈 = 345
• 머리말 = 345
• 새 사회에의 이행과 센서에의 요구 = 345
• 화학 센서의 반응 = 348
• 기술 개발면에서 본 화학 센서의 장래 = 353
• 분체 프로세스와 최근의 센서 기술 = 355
• 머리말 = 355
• 미분탄 연소 프로세스와 계측 = 357
• 분체 프로세스 자동화 중의 센서 = 357
• 각종 센서 = 357
• 입상 복합비료 제조 공정과 센서 = 364
• 맺는 말 = 364
• 화학 프로세스에 있어서의 마이컴 응용 센서 = 365
• 처음에 = 365
• 화학 플랜트에 있어서의 센서의 역할 = 365
• 마이컴의 센서에의 응용 = 366
• 실례에서 본 마이컴 응용 센서의 득실과 효과 = 370
• 끝으로 = 372
• 광파이버에 의한 센싱 기술 = 373
• 처음에 = 373
• 계측용 광파이버 = 373
• 계측용 디바이스 = 373
• 광파이버의 센서에의 응용 = 375
• 산소 센서 = 385
• 산소 센서란 무엇인가 = 385
• 산소 가스 분석계 = 385
• 자동차 배기 가스 성분과 자동 조정 = 386
• 각종 공업용 노의 에너지 절약과 배기 가스 속의 NO_χ저감 및 노내 분위기의 자동 제어 = 387
• 용동 중 산소 농도의 자동 조정 = 387
• 용동 중 산소 농도의 신속한 분석 = 388
• 철강제련용 산소 센서의 두세 가지 새로운 시도 = 391
• 그 밖의 산소 센서 응용의 새로운 시도 = 391
• 끝으로 = 391
• 습도 센서 = 393
• 머리말 = 393
• 습도 센서의 종류와 최근의 동향 = 393
• 고체에서의 물의 흡착 = 394
• 전해질 습도 센서 = 395
• 세라믹 습도 센서 = 395
• 반도체형 습도 센서 = 399
• 고분자 습도 센서 및 탄소막 습도 센서 = 400
• 결로 센서 = 401
• 끝으로 = 403
• 온도 센서 = 405
• 서론 = 405
• 온도계의 종류와 측정 원리 = 405
• 온도 센서 선정의 포인트 = 409
• JIS개정에 의한 주의점 = 409
• 최근의 온도 센서 = 409
• 금후의 온도 센서 = 410
• 유속 유량 센서 = 412
• 머리말 = 412
• 흐름의 비정상도 = 412
• 측정 양식 = 412
• 유속 센서 = 413
• 유량 센서 = 414
• 각종 유속 유량 센서의 사용 범위 = 418
• 접촉 연소식 가스 센서 = 419
• 최근의 접촉 연소식 가스 센서 = 419
• 가스 센서의 종류와 구조 = 419
• 응용 범위와 센서의 특성 = 420
• 금후의 과제 = 422
• 고체 전해질 가스 센서 = 419
• 처음에 = 423
• 산소 농담 전지와 기전력 = 423
• 자동차용 지르코니아 센서 = 423
• 연소 제어를 위한 지르코니아 센서 = 425
• 새로운 형의 지르코니아 센서 = 425
• 끝으로 = 426
• 반도체 가스 센서 = 428
• 처음에 = 428
• 전기전도도 변화를 이용하는 표면 제어형 센서 = 428
• 정류 특성의 변화 등을 이용하는 표면 제어형 센서 = 431
• 벌크 제어용 센서 = 432
• 끝으로 = 433
• 환산기기용 대기계 센서 = 435
• 머리말 = 435
• 현상의 소개 = 435
• 최근의 개발 상황 = 439
• 끝으로 = 440
• 역학량 센서 = 442
• 처음에 = 442
• 분류 = 442
• 길이 변위 위치 = 442
• 힘(하중) 토크 = 442
• 압력 = 444
• 속도 가속도 = 444
• 회전수 진동수 = 445
• 끝으로 = 446
• 바이오 센서 = 447
• 머리말 = 447
• 바이오 센서의 원리와 종류 = 447
• 실용화되고 있는 효소 센서 = 447
• 미생물 센서의 응용 전개 = 448
• 미생물 센서의 응용 = 448
• 면역 센서 = 449
• 효소 더미스터 = 450
• 발광 바이오 센서 = 450
• 끝으로 = 450